本發(fā)明涉及玻璃制蓋構(gòu)件的制造方法、玻璃制蓋構(gòu)件以及具備該蓋構(gòu)件的封裝體，特別是涉及對玻璃制蓋構(gòu)件的成膜技術(shù)。

背景技術(shù)：

1、例如，以從周圍的環(huán)境保護(hù)led等發(fā)光元件的目的，已知有一種被稱作封裝體的構(gòu)造體，其具備基板、配設(shè)于基板上的規(guī)定位置的發(fā)光元件以及在與基板之間形成能夠收容發(fā)光元件的空間的蓋構(gòu)件。在這種構(gòu)造體中，為了高效地取出發(fā)光元件發(fā)出的光，將玻璃制的蓋構(gòu)件形成為圓頂形狀（例如，參照專利文獻(xiàn)1）。

2、另一方面，玻璃缺乏與其他物質(zhì)的緊貼性，因此提出在成為接合面的玻璃制的蓋構(gòu)件的表面以及基板的表面分別設(shè)置金屬化層（金屬層）并利用焊料等接合材料將金屬化層彼此接合而成的接合構(gòu)造（參照專利文獻(xiàn)2）。

3、現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

4、專利文獻(xiàn)

5、專利文獻(xiàn)1：國際公開2022／130799號公報

6、專利文獻(xiàn)2：國際公開2020／012974號公報

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、發(fā)明要解決的課題

2、然而，關(guān)于上述的構(gòu)造的封裝體，出現(xiàn)了希望至今為止以上大地取得在玻璃制的蓋構(gòu)件與基板之間形成的發(fā)光元件的收容空間這樣的要求。另一方面，由于封裝體整體的尺寸如以往那樣，因此例如在為將呈圓頂狀的玻璃制的蓋構(gòu)件與基板接合而成的封裝體的情況下，需要代替增大蓋構(gòu)件的呈圓頂狀的部分（圓頂部），而將包圍圓頂部的周緣部的框部的寬度方向尺寸縮小（需要說明的是，這里所說的寬度方向是指與框部的長度方向以及厚度方向正交的朝向。以下，在本說明書中相同。）。在采取如上述那樣在一對金屬層間夾設(shè)有焊料層的接合構(gòu)造的情況下，需要在框部的表面形成金屬層，但若框部的寬度方向尺寸太小，則無法形成必要大?。▽挾确较虺叽纾┑慕饘賹?，產(chǎn)生封裝體內(nèi)的氣密性降低的風(fēng)險。

3、鑒于以上的情況，本發(fā)明應(yīng)該解決的技術(shù)課題在于提供能夠在使發(fā)光元件的收容空間比以往大的同時對收容空間賦予良好的氣密性的玻璃制蓋構(gòu)件。

4、用于解決課題的方案

5、所述課題的解決通過本發(fā)明的玻璃制蓋構(gòu)件的制造方法而實(shí)現(xiàn)。即，該制造方法為一種玻璃制蓋構(gòu)件的制造方法，所述玻璃制蓋構(gòu)件在與基體之間形成收容發(fā)光元件的空間，且所述玻璃制蓋構(gòu)件一體地具有呈板狀的框部、位于框部的內(nèi)側(cè)并呈圓頂狀的圓頂部以及將框部與圓頂部連接的連接部，所述玻璃制蓋構(gòu)件的制造方法的特征在于，所述玻璃制蓋構(gòu)件的制造方法包括通過使用掩蔽構(gòu)件的成膜處理在框部的一方的表面形成金屬化層的成膜工序，在成膜工序中，以如下狀態(tài)進(jìn)行成膜處理：在與呈平坦的形狀的框部的一方的表面以及在框部的一方的表面的內(nèi)側(cè)連續(xù)的連接部的一方的表面相對的位置配置掩蔽構(gòu)件的開口部，并且在比開口部靠外側(cè)且與玻璃制蓋構(gòu)件相對的位置配置掩蔽構(gòu)件的第一掩蔽部并在比開口部靠內(nèi)側(cè)且與玻璃制蓋構(gòu)件相對的位置配置掩蔽構(gòu)件的第二掩蔽部。

6、需要說明的是，在本說明書中所說的“連接部”的意思是指在沿著與框部的一方的表面接觸的平坦面的法線方向的截面中觀察的情況下其內(nèi)表面呈凸曲面狀的部分。另外，在本說明書中所說的“圓頂部”的意思是指在上述截面中觀察的情況下其內(nèi)表面作為整體而呈凹曲面狀的部分。另外，在本說明書中所說的“呈平坦的形狀”的意思是指成為對象的面的平面度為50μm以下。

7、如此，在本發(fā)明中，在進(jìn)行對玻璃制蓋構(gòu)件的框部的金屬化層的成膜處理時，由于以如下狀態(tài)進(jìn)行成膜處理、即在與框部的一方的表面以及在所述框部的一方的表面的內(nèi)側(cè)連續(xù)的連接部的一方的表面相對的位置配置掩蔽構(gòu)件的開口部，因此金屬化層從框部的表面形成到在所述框部的表面的內(nèi)側(cè)連續(xù)的連接部的表面。由此，即使在框部的寬度方向尺寸不滿足所要求的金屬化層的形成所需的寬度方向尺寸的情況下，也能夠確保所需的寬度方向尺寸。因此，在將圓頂部擴(kuò)大而增大發(fā)光元件的收容空間的情況下也能夠?qū)Πl(fā)光元件的收容空間賦予良好的氣密性。

8、另外，在本發(fā)明的玻璃制蓋構(gòu)件的制造方法中，也可以是，使用具有從第二掩蔽部朝向玻璃制蓋構(gòu)件突出的突出部的掩蔽構(gòu)件進(jìn)行成膜處理。

9、如上述那樣在與玻璃制蓋構(gòu)件的框部以及連接部相對的位置配置掩蔽構(gòu)件的開口部的狀態(tài)下進(jìn)行成膜處理，從而不僅是框部的一方的表面也在與該表面在其內(nèi)側(cè)連續(xù)的連接部的一方的表面形成金屬化層。另一方面，在比開口部靠內(nèi)側(cè)且與玻璃制蓋構(gòu)件相對的位置配置第二掩蔽部，因此期待的是，僅在連接部的一方的表面中的與開口部相對的區(qū)域形成金屬化層。然而，連接部的內(nèi)表面（一方的表面）呈凸曲面狀，因此在如上述那樣配置掩蔽構(gòu)件的狀態(tài)下，在第二掩蔽部28的外側(cè)端部與連接部8的內(nèi)表面8a之間產(chǎn)生無法忽略的大小的間隙y（參照圖13）。在此，可能發(fā)生通過開口部而供給到連接部的一方的表面的成膜材料經(jīng)由第二掩蔽部與連接部之間的間隙而向圓頂部的內(nèi)側(cè)空間侵入的情況。其結(jié)果是，擔(dān)心成膜材料不僅附著到連接部的內(nèi)表面，也附著到與該連接部的內(nèi)表面在內(nèi)側(cè)連續(xù)的圓頂部的內(nèi)表面的情況。由于圓頂部的內(nèi)表面是與連接部的內(nèi)表面相比對發(fā)光元件的光的取出效率帶來更大的影響的部分，因此成膜材料附著到圓頂部的內(nèi)表面很可能招致光的取出效率的降低（例如小于90％）。

10、對于上述的問題點(diǎn)，使用具有從第二掩蔽部朝向玻璃制蓋構(gòu)件突出的突出部的掩蔽構(gòu)件進(jìn)行成膜處理，從而成膜材料經(jīng)由連接部與第二掩蔽部的外側(cè)端部之間的間隙向上述內(nèi)側(cè)空間的侵入被突出部（特別是其側(cè)面）阻止。因此，能夠盡量防止成膜材料向圓頂部的內(nèi)表面的附著而改善經(jīng)由玻璃制蓋構(gòu)件（圓頂部）的光的取出效率。

11、另外，在設(shè)置突出部的情況下，在本發(fā)明的玻璃制蓋構(gòu)件的制造方法中，也可以是，以在連接部的一方的表面與在連接部的一方的表面的內(nèi)側(cè)連續(xù)的圓頂部的一方的表面的邊界或者比該邊界靠外側(cè)的位置突出部最接近玻璃制蓋構(gòu)件的方式，使用設(shè)置有突出部的掩蔽構(gòu)件進(jìn)行成膜處理。

12、通過如此設(shè)置突出部，從而能夠使形成于蓋構(gòu)件與突出部之間的間隙成為最小的部分接近開口部，因此能夠更有效地防止成膜材料向圓頂部的內(nèi)側(cè)空間的侵入。因此，能夠以更高概率防止成膜材料附著于圓頂部的內(nèi)表面的情況而進(jìn)一步改善光的取出效率。

13、另外，在設(shè)置突出部的情況下，在本發(fā)明的玻璃制蓋構(gòu)件的制造方法中，也可以是，以相對于圓頂部以及連接部均在與突出部之間產(chǎn)生間隙的方式使用設(shè)置有突出部的掩蔽構(gòu)件進(jìn)行成膜處理。

14、具有框部以及圓頂部的玻璃制蓋構(gòu)件通常通過由加熱軟化帶來的變形而成形圓頂部。因此，無論如何在量產(chǎn)件中在圓頂部、連接部的形狀精度產(chǎn)生相應(yīng)的偏差。關(guān)于這一點(diǎn)，對于突出部而言，以相對于圓頂部以及連接部均在與突出部之間產(chǎn)生間隙的方式設(shè)置突出部，從而能夠避免圓頂部、連接部與突出部的干涉，特別是防止圓頂部的內(nèi)表面損傷的情況。

15、另外，在以在與圓頂部以及連接部之間產(chǎn)生間隙的方式設(shè)置突出部的情況下，在本發(fā)明的玻璃制蓋構(gòu)件的制造方法中，也可以是，圓頂部與突出部之間的間隙和連接部與突出部之間的間隙中的最小的部位的大小為圓頂部的內(nèi)表面高度的5％以上且30％以下。

16、如此，通過將上述間隙中的最小的部位的大小設(shè)為圓頂部的內(nèi)表面高度的5％以上，從而能夠與圓頂部、連接部的形狀精度的偏差無關(guān)地，可靠避免與突出部的干涉。另外，通過將上述間隙的最小值設(shè)為圓頂部的內(nèi)表面高度的30％以下，從而有效地能夠防止成膜材料經(jīng)由上述間隙的侵入。

17、另外，在設(shè)置突出部的情況下，在本發(fā)明的玻璃制蓋構(gòu)件的制造方法中，也可以是，在俯視圓頂部的情況下，突出部的面積相對于第二掩蔽部的面積所占的比例為50％以上且90％以下。

18、另外，在本發(fā)明的玻璃制蓋構(gòu)件的制造方法中，也可以是，突出部具有從第二掩蔽部立起設(shè)置的側(cè)面、以及前端面，并且在側(cè)面與前端面之間設(shè)置有倒角部。

19、如此，通過在構(gòu)成突出部的側(cè)面與前端面之間設(shè)置倒角部，從而能夠避免突出部的角部與玻璃制蓋構(gòu)件（連接部或者圓頂部）干涉的情況，因此能夠?qū)⑴c突出部之間的間隙設(shè)定得更窄。因此，利用該結(jié)構(gòu)也能夠以更高概率防止成膜材料向圓頂部的內(nèi)側(cè)空間的侵入而實(shí)現(xiàn)光的取出效率的進(jìn)一步改善。

20、另外，在本發(fā)明的玻璃制蓋構(gòu)件的制造方法中，也可以是，突出部具有從第二掩蔽部立起設(shè)置的側(cè)面、以及前端面，并且側(cè)面以隨著遠(yuǎn)離第二掩蔽部而趨向玻璃制蓋構(gòu)件的內(nèi)側(cè)的朝向傾斜。

21、如此，通過利用傾斜的側(cè)面以及前端面構(gòu)成突出部，從而能夠使連接部以及圓頂部的內(nèi)表面與側(cè)面之間的間隙在其突出方向整個區(qū)域極小。因此，利用該結(jié)構(gòu)也能夠以更高概率防止成膜材料向圓頂部的內(nèi)側(cè)空間的侵入而實(shí)現(xiàn)光的取出效率的進(jìn)一步改善。

22、另外，在本發(fā)明的玻璃制蓋構(gòu)件的制造方法中，也可以是，在俯視圓頂部的情況下，突出部呈仿照圓頂部的形狀。

23、通過如此構(gòu)成突出部，從而能夠?qū)⑼怀霾颗c玻璃制蓋構(gòu)件（連接部或者圓頂部）之間的間隙在其整周上堵塞。因此，能夠沒有遺漏地防止成膜材料向圓頂部的內(nèi)側(cè)空間的侵入而均等地實(shí)現(xiàn)光的取出效率的改善。

24、另外，在本發(fā)明的玻璃制蓋構(gòu)件的制造方法中，也可以是，突出部由環(huán)狀的壁部構(gòu)成。

25、如上述那樣，在第二掩蔽部設(shè)置突出部時，重要的是利用突出部的側(cè)面如何阻止成膜材料向內(nèi)側(cè)空間的侵入這點(diǎn)。因此，利用環(huán)狀的壁部構(gòu)成突出部也沒有特別問題。

26、另外，在本發(fā)明的玻璃制蓋構(gòu)件的制造方法中，也可以是，突出部具有：突出部主體；以及軟質(zhì)部，其由比突出部主體軟質(zhì)的材料形成，并構(gòu)成突出部與圓頂部之間的間隙和突出部與連接部之間的間隙中的最小的部分。

27、通過如此構(gòu)成突出部，從而與利用單一材料形成包括突出部的掩蔽構(gòu)件的情況相比，能夠減小突出部與玻璃制蓋構(gòu)件之間的最小間隙。因此，能夠以更高概率防止成膜材料向圓頂部的內(nèi)側(cè)空間的侵入而實(shí)現(xiàn)光的取出效率的進(jìn)一步改善。另外，根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，可能與圓頂部或者連接部接觸的部分成為比掩蔽構(gòu)件的主體（突出部主體）軟的軟質(zhì)部，因此即使圓頂部或者連接部與突出部接觸，給圓頂部或者連接部造成損傷的風(fēng)險也極低。另外，假設(shè)即使軟質(zhì)部的一部分附著于圓頂部或者連接部，也能夠通過清洗而容易地去除，因此沒有特別問題。

28、另外，在本發(fā)明的玻璃制蓋構(gòu)件的制造方法中，也可以是，金屬化層通過層疊線膨脹系數(shù)相互不同的多個金屬層而成，以越是接近框部的金屬層則線膨脹系數(shù)越小的方式進(jìn)行成膜處理。

29、如此，將金屬化層設(shè)為層疊多個金屬層而成的構(gòu)造，并且越是接近框部的金屬層則線膨脹系數(shù)越小，從而能夠有效地緩和例如在利用焊料等接合材料將金屬化層彼此接合而將蓋構(gòu)件與基體接合時在框部產(chǎn)生的應(yīng)力。

30、另外，在該情況下，也可以是，以多個金屬層中的距框部最遠(yuǎn)的金屬層的寬度方向尺寸比剩余的金屬層的寬度方向尺寸小的方式進(jìn)行成膜處理。

31、如此，通過調(diào)整各金屬層的寬度方向尺寸，也能夠有效地緩和在框部產(chǎn)生的應(yīng)力。

32、另外，所述課題的解決也能通過本發(fā)明的玻璃制蓋構(gòu)件來實(shí)現(xiàn)。即，該蓋構(gòu)件為一種玻璃制蓋構(gòu)件，其是在與基體之間形成收容發(fā)光元件的空間的玻璃制的蓋構(gòu)件，其特征在于，所述玻璃制蓋構(gòu)件一體地具有呈板狀的框部、位于框部的內(nèi)側(cè)并呈圓頂狀的圓頂部以及將框部與圓頂部連接的連接部，跨框部的一方的表面與在框部的一方的表面的內(nèi)側(cè)連續(xù)的連接部的一方的表面地形成有金屬化層。

33、如此，在本發(fā)明中，關(guān)于在玻璃制蓋構(gòu)件的框部形成的金屬化層，跨框部的一方的表面與在框部的一方的表面的內(nèi)側(cè)連續(xù)的連接部的一方的表面地形成有金屬化層，因此即使在框部的寬度方向尺寸不滿足所要求的金屬化層的形成所需的寬度方向尺寸的情況下，也能夠確保金屬化層的形成所需的寬度方向尺寸。因此，即使在將圓頂部擴(kuò)大而增大發(fā)光元件的收容空間的情況下，也能夠?qū)Πl(fā)光元件的收容空間賦予良好的氣密性。

34、本發(fā)明能夠提供能夠在使發(fā)光元件的收容空間比以往大的同時對收容空間賦予良好的氣密性的玻璃制蓋構(gòu)件，因此例如作為具備蓋構(gòu)件、發(fā)光元件以及基體的封裝體是合適的。

35、發(fā)明效果

36、以上，根據(jù)本發(fā)明，能夠提供能夠在使發(fā)光元件的收容空間比以往大的同時對收容空間賦予良好的氣密性的玻璃制蓋構(gòu)件。