本發(fā)明涉及微電子技術(shù)，具體涉及芯片條帶精準(zhǔn)切筋集成處理裝置。

背景技術(shù)：

1、芯片條帶精準(zhǔn)切筋集成處理裝置是一種專門用于半導(dǎo)體芯片制造過程中的設(shè)備，用于將半導(dǎo)體晶圓切割成單個(gè)的芯片，這個(gè)過程稱為切筋，是芯片制造的最后一步，也是確保每個(gè)芯片獨(dú)立和完整的關(guān)鍵步驟，通過集成處理裝置，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)芯片條帶的精準(zhǔn)切割，確保切割邊緣的直度和切割尺寸的精確度，這對(duì)于后續(xù)的芯片封裝和測(cè)試至關(guān)重要，通過精確的切割，可以最大化地利用晶圓材料，減少在生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢料，芯片條帶精準(zhǔn)切筋集成處理裝置是半導(dǎo)體制造過程中不可或缺的一部分，它對(duì)于提高芯片生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量起著關(guān)鍵作用；

2、中國專利授權(quán)公告號(hào)為cn111730771b，名稱為一種晶圓切割機(jī)，包括：機(jī)座、切割刀具、夾具與載物臺(tái)；所述夾具固定安裝在所述機(jī)座上，用于夾緊固定硅棒；所述載物臺(tái)設(shè)置于所述夾具的正下方，所述載物臺(tái)包括外環(huán)部與中心部，所述中心部的上端面水平布置，且所述硅棒抵靠在所述中心部的上端面上，且所述硅棒沿豎直方向的投影落在所述中心部外。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本申請(qǐng)的晶圓切割機(jī)能夠進(jìn)行穩(wěn)固的夾持，避免晶片發(fā)生破片與卷邊；

3、上述方案的不足之處在于：上述方案雖然可以避免晶片發(fā)生破片與卷邊，但是在使用時(shí)不能對(duì)不同的晶片進(jìn)行切割，無法適應(yīng)不同尺寸、形狀或厚度的晶片，限制了裝置在多樣化生產(chǎn)環(huán)境中的應(yīng)用，需要為每種不同規(guī)格的晶片購買或定制專門的切割設(shè)備，增加了生產(chǎn)成本，并且只能在一個(gè)方向上進(jìn)行切割，限制了切割的多樣性和靈活性，在切割過程中，如果晶圓或芯片需要翻轉(zhuǎn)以適應(yīng)切割路徑，不能翻轉(zhuǎn)的設(shè)備可能導(dǎo)致材料利用率降低，因?yàn)榍懈罹€可能無法充分利用晶圓的面積的技術(shù)問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供芯片條帶精準(zhǔn)切筋集成處理裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中使用時(shí)不能對(duì)不同的晶片進(jìn)行切割，無法適應(yīng)不同尺寸、形狀或厚度的晶片，限制了裝置在多樣化生產(chǎn)環(huán)境中的應(yīng)用，需要為每種不同規(guī)格的晶片購買或定制專門的切割設(shè)備，增加了生產(chǎn)成本，并且只能在一個(gè)方向上進(jìn)行切割，限制了切割的多樣性和靈活性，在切割過程中，如果晶圓或芯片需要翻轉(zhuǎn)以適應(yīng)切割路徑，不能翻轉(zhuǎn)的設(shè)備可能導(dǎo)致材料利用率降低，因?yàn)榍懈罹€可能無法充分利用晶圓的面積的技術(shù)問題。

2、本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題可以通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：

3、芯片條帶精準(zhǔn)切筋集成處理裝置，包括底板；

4、所述底板上連接有兩個(gè)支撐板，所述支撐板遠(yuǎn)離底板的一端連接有安裝板，每個(gè)所述安裝板上均連接有轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)齒輪和齒環(huán)，所述安裝板上連接有電動(dòng)機(jī)，所述驅(qū)動(dòng)齒輪連接在電動(dòng)機(jī)的驅(qū)動(dòng)端，所述齒環(huán)嚙合連接在驅(qū)動(dòng)齒輪的外周，所述齒環(huán)遠(yuǎn)離驅(qū)動(dòng)齒輪的一側(cè)連接有轉(zhuǎn)動(dòng)盤，所述轉(zhuǎn)動(dòng)盤上連接有兩個(gè)連接軸，兩個(gè)所述連接軸遠(yuǎn)離轉(zhuǎn)動(dòng)盤的一端連接有電動(dòng)伸縮桿，所述電動(dòng)伸縮桿的伸縮端連接有轉(zhuǎn)動(dòng)板，所述轉(zhuǎn)動(dòng)板上連接有夾持機(jī)構(gòu)，所述夾持機(jī)構(gòu)對(duì)稱設(shè)置；

5、所述底板上連接有固定板，所述固定板上連接有兩組限位條，兩組所述限位條上均連接有升降機(jī)構(gòu)；

6、兩組所述限位條之間連接有切割機(jī)構(gòu)，所述切割機(jī)構(gòu)包括多組滑軌和多個(gè)切割刀，多組所述滑軌均連接在兩組限位條之間，每個(gè)所述滑軌上均設(shè)有滑槽，所述滑槽內(nèi)滑動(dòng)連接有電動(dòng)滑塊，所述電動(dòng)滑塊上連接有連接板，所述切割刀連接在連接板上。

7、作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：所述連接軸為鋼結(jié)構(gòu)體。

8、作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：每側(cè)所述夾持機(jī)構(gòu)均包括推動(dòng)板和夾持板，所述轉(zhuǎn)動(dòng)板上連接有固定架，所述固定架上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有螺桿，所述螺桿遠(yuǎn)離手柄的一端設(shè)有推動(dòng)板，所述推動(dòng)板與螺桿之間連接有連接頭，所述推動(dòng)板遠(yuǎn)離手柄的一端設(shè)有夾持板。

9、作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：所述螺桿上連接有手柄。

10、作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：所述手柄上分布有防滑紋。

11、作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：所述夾持板內(nèi)側(cè)連接有防滑墊。

12、作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：所述升降機(jī)構(gòu)包括齒條和轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪，所述齒條連接在限位條上，所述轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪與齒條嚙合連接，所述底板上連接有連接桿，所述連接桿遠(yuǎn)離底板的一端連接有驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪連接在驅(qū)動(dòng)電機(jī)的驅(qū)動(dòng)端。

13、作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：所述推動(dòng)板與夾持板之間連接有多個(gè)彈簧。

14、作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：所述電動(dòng)滑塊與滑槽之間涂抹有潤滑劑。

15、作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：所述切割刀為超聲波切刀。

16、本發(fā)明的有益效果：

17、1、本發(fā)明通過電動(dòng)伸縮桿作用，可以推動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)板移動(dòng)，從而改變轉(zhuǎn)動(dòng)板的位置，將需要加工的工件放置在兩個(gè)夾持板內(nèi)，通過手柄轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)螺桿轉(zhuǎn)動(dòng)，使得螺桿推動(dòng)連接頭移動(dòng)，通過手柄轉(zhuǎn)動(dòng)螺桿，可以精確地固定工件在兩個(gè)夾持板之間，確保加工過程中工件的穩(wěn)定性，連接頭推動(dòng)推動(dòng)板移動(dòng)，推動(dòng)推動(dòng)板，對(duì)彈簧進(jìn)行擠壓，對(duì)兩個(gè)夾持板之間的工件進(jìn)行固定，通過精確固定工件，可以確保在加工過程中工件不會(huì)移動(dòng)或振動(dòng)，從而提高加工精度和表面質(zhì)量。

18、2、本發(fā)明電動(dòng)機(jī)帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)齒輪旋轉(zhuǎn)，將電機(jī)的動(dòng)力傳遞給驅(qū)動(dòng)齒輪，驅(qū)動(dòng)齒輪的外周連接有齒環(huán)，齒環(huán)與驅(qū)動(dòng)齒輪嚙合，通過驅(qū)動(dòng)齒輪帶動(dòng)嚙合的齒環(huán)轉(zhuǎn)動(dòng)，齒環(huán)帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)盤轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)動(dòng)盤帶動(dòng)連接軸轉(zhuǎn)動(dòng)，連接軸通過電動(dòng)伸縮桿帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)板轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)動(dòng)板可以帶動(dòng)夾持機(jī)構(gòu)之間的工件轉(zhuǎn)動(dòng)，連接板上的切割刀可以對(duì)夾持機(jī)構(gòu)上的樣品進(jìn)行切割，切割刀可以沿著滑軌進(jìn)行精準(zhǔn)的切筋操作，通過限位條和升降機(jī)構(gòu)的配合，可以精確調(diào)節(jié)切割機(jī)構(gòu)的位置，轉(zhuǎn)動(dòng)盤和連接軸的轉(zhuǎn)動(dòng)，使得工件可以平穩(wěn)地旋轉(zhuǎn)，便于從不同角度進(jìn)行切割和加工，切割刀沿著滑軌進(jìn)行精準(zhǔn)的切筋操作。

19、3、本發(fā)明通過驅(qū)動(dòng)電機(jī)帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪帶動(dòng)嚙合的齒條移動(dòng)，齒條帶動(dòng)限位條移動(dòng)，使得限位條上的切割機(jī)構(gòu)上下移動(dòng)，以調(diào)節(jié)位置，通過限位條和升降機(jī)構(gòu)的配合，可以精確調(diào)節(jié)切割機(jī)構(gòu)的位置，確保切割的精度。

技術(shù)特征：

1.芯片條帶精準(zhǔn)切筋集成處理裝置，包括底板(1)；其特征在于：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片條帶精準(zhǔn)切筋集成處理裝置，其特征在于，所述連接軸(26)為鋼結(jié)構(gòu)體。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片條帶精準(zhǔn)切筋集成處理裝置，其特征在于，每側(cè)所述夾持機(jī)構(gòu)均包括推動(dòng)板(29)和夾持板(22)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)板(28)上連接有固定架(19)，所述固定架(19)上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有螺桿(20)，所述螺桿(20)遠(yuǎn)離手柄(21)的一端設(shè)有推動(dòng)板(29)，所述推動(dòng)板(29)與螺桿(20)之間連接有連接頭(27)，所述推動(dòng)板(29)遠(yuǎn)離手柄(21)的一端設(shè)有夾持板(22)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的芯片條帶精準(zhǔn)切筋集成處理裝置，其特征在于，所述螺桿(20)上連接有手柄(21)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的芯片條帶精準(zhǔn)切筋集成處理裝置，其特征在于，所述手柄(21)上分布有防滑紋。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的芯片條帶精準(zhǔn)切筋集成處理裝置，其特征在于，所述夾持板(22)內(nèi)側(cè)連接有防滑墊。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片條帶精準(zhǔn)切筋集成處理裝置，其特征在于，所述升降機(jī)構(gòu)包括齒條(7)和轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪(10)，所述齒條(7)連接在限位條(5)上，所述轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪(10)與齒條(7)嚙合連接，所述底板(1)上連接有連接桿(8)，所述連接桿(8)遠(yuǎn)離底板(1)的一端連接有驅(qū)動(dòng)電機(jī)(9)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪(10)連接在驅(qū)動(dòng)電機(jī)(9)的驅(qū)動(dòng)端。

8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的芯片條帶精準(zhǔn)切筋集成處理裝置，其特征在于，所述推動(dòng)板(29)與夾持板(22)之間連接有多個(gè)彈簧(25)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片條帶精準(zhǔn)切筋集成處理裝置，其特征在于，所述電動(dòng)滑塊(12)與滑槽(15)之間涂抹有潤滑劑。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片條帶精準(zhǔn)切筋集成處理裝置，其特征在于，所述切割刀(13)為超聲波切刀。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了芯片條帶精準(zhǔn)切筋集成處理裝置，涉及微電子技術(shù)技術(shù)領(lǐng)域，包括底板；底板上連接有兩個(gè)支撐板，支撐板遠(yuǎn)離底板的一端連接有安裝板，每個(gè)安裝板上均連接有轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)。本發(fā)明通過電動(dòng)伸縮桿作用，可以推動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)板移動(dòng)，從而改變轉(zhuǎn)動(dòng)板的位置，將需要加工的工件放置在兩個(gè)夾持板內(nèi)，通過手柄轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)螺桿轉(zhuǎn)動(dòng)，使得螺桿推動(dòng)連接頭移動(dòng)，通過手柄轉(zhuǎn)動(dòng)螺桿，可以精確地固定工件在兩個(gè)夾持板之間，確保加工過程中工件的穩(wěn)定性，連接頭推動(dòng)推動(dòng)板移動(dòng)，推動(dòng)推動(dòng)板，對(duì)彈簧進(jìn)行擠壓，對(duì)兩個(gè)夾持板之間的工件進(jìn)行固定，通過精確固定工件，可以確保在加工過程中工件不會(huì)移動(dòng)或振動(dòng)，從而提高加工精度和表面質(zhì)量。

技術(shù)研發(fā)人員：顧夢(mèng)甜,張馳,陳浩
受保護(hù)的技術(shù)使用者：安徽積芯微電子科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/5/8