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掩膜板及其制造方法、顯示面板與流程

文檔序號(hào):41839485發(fā)布日期:2025-05-09 12:17閱讀:4來源:國知局
掩膜板及其制造方法、顯示面板與流程

本技術(shù)涉及顯示,特別涉及一種掩膜板及其制造方法、顯示面板。


背景技術(shù):

1、有機(jī)發(fā)光二極管(英文:organic?light?emitting?diode,簡稱:oled)由于具有自發(fā)光、高效率、色彩鮮艷、輕薄省電以及可卷曲等優(yōu)點(diǎn),被譽(yù)為下一代顯示器件,近年來引起越來越多的關(guān)注。

2、對于oled顯示面板而言,其封裝技術(shù)尤為關(guān)鍵,薄膜封裝工藝采用掩膜板在基板上沉積薄膜,從而形成封裝層。通常掩膜板由框架和焊接在框架上的掩膜網(wǎng)組成,掩膜網(wǎng)上陣列分布有若干用于沉膜的開口區(qū)。在采用掩膜板在基板上沉膜的過程中,待沉膜的材料可以經(jīng)過掩膜板上的開口區(qū)附著在基板上,使得基板中與開口區(qū)對應(yīng)設(shè)置的區(qū)域上可以形成薄膜。

3、然而,目前的掩膜板的邊緣區(qū)域極易受到的重力影響,導(dǎo)致在掩膜板的邊緣處設(shè)置的開口區(qū)的邊界極易出現(xiàn)起翹的現(xiàn)象,進(jìn)而導(dǎo)致在基板中與這些開口區(qū)對應(yīng)的區(qū)域上形成的薄膜的準(zhǔn)確性較低,會(huì)影響后續(xù)所要形成的顯示面板的成品良率。


技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本技術(shù)實(shí)施例提供了一種掩膜板及其制造方法、顯示面板??梢越鉀Q顯示面板的成品良率問題,所述技術(shù)方案如下:

2、一方面,提供了一種掩膜板,包括:

3、環(huán)形框架;

4、位于所述環(huán)形框架一側(cè)且與所述環(huán)形框架固定連接的掩膜網(wǎng),所述掩膜網(wǎng)具有陣列排布的多個(gè)開口區(qū),以及位于所述多個(gè)開口區(qū)外圍的輔助開口,所述多個(gè)開口區(qū)和所述輔助開口在與所述掩膜網(wǎng)平行的參考平面上的正投影,均位于所述環(huán)形框架在所述參考平面上的正投影所圍成的區(qū)域內(nèi);

5、以及,位于所述掩膜網(wǎng)背離所述環(huán)形框架一側(cè)的遮擋條,所述遮擋條覆蓋所述輔助開口。

6、可選的,所述多個(gè)開口區(qū)沿第一方向排布為多列,且沿第二方向排布為多行;

7、所述掩膜網(wǎng)具有多個(gè)所述輔助開口,多個(gè)所述輔助開口包括:沿所述第一方向排布為至少一排的第一輔助開口,和/或,沿所述第二方向排布為至少一排的第二輔助開口。

8、可選的,所述遮擋條的個(gè)數(shù)為多個(gè),多個(gè)所述遮擋條包括:與至少一排所述第一輔助開口對應(yīng)設(shè)置的至少一個(gè)第一遮擋條,和/或,與至少一排所述第二輔助開口對應(yīng)設(shè)置的至少一個(gè)第二遮擋條;

9、其中,所述第一遮擋條的延伸方向與所述第一方向平行,且所述第一遮擋條覆蓋對應(yīng)的一排所述第一輔助開口;所述第二遮擋條的延伸方向與所述第二方向平行,且所述第二遮擋條覆蓋對應(yīng)的一排所述第二輔助開口。

10、可選的,在所述多個(gè)輔助開口包括所述至少一排第一輔助開口的情況下,所述第一遮擋條在所述第二方向上的寬度,大于或等于所述第一輔助開口在所述第二方向上的寬度;

11、和/或,在所述多個(gè)輔助開口包括所述至少一排第二輔助開口的情況下,所述第二遮擋條在所述第一方向上的寬度,大于或等于所述第二輔助開口在所述第一方向上的寬度。

12、可選的,所述第一遮擋條在所述第一方向上的長度,大于所述環(huán)形框架所圍成的區(qū)域在所述第一方向上的寬度;

13、和/或,所述第二遮擋條在所述第二方向上的長度,大于所述環(huán)形框架所圍成的區(qū)域在所述第二方向上的寬度。

14、可選的,在所述多個(gè)輔助開口包括所述至少一排第一輔助開口的情況下,在所述第二方向上,所述第一輔助開口與相鄰的所述開口區(qū)之間的距離,小于或等于兩個(gè)相鄰的所述開口區(qū)之間的距離;

15、和/或,在所述多個(gè)輔助開口包括所述至少一排第二輔助開口的情況下,在所述第一方向上,所述第二輔助開口與相鄰的所述開口區(qū)之間的距離,小于或等于兩個(gè)相鄰的所述開口區(qū)之間的距離。

16、可選的,在所述多個(gè)輔助開口包括所述至少一排第一輔助開口的情況下,一排所述第一輔助開口中的第一輔助開口的個(gè)數(shù),與一行所述開口區(qū)中的開口區(qū)的個(gè)數(shù)相同;

17、和/或,在所述多個(gè)輔助開口包括所述至少一排第二輔助開口的情況下,一排所述輔助開口中的第二輔助開口的個(gè)數(shù),與一列所述開口區(qū)中的開口區(qū)的個(gè)數(shù)相同。

18、可選的,在所述多個(gè)輔助開口包括兩排所述第一輔助開口的情況下,所述多個(gè)開口區(qū)在所述第二方向上排布在兩排所述第一輔助開口之間,且每一列所述開口區(qū)的兩側(cè)分別排布有兩個(gè)所述第一輔助開口;

19、和/或,在所述多個(gè)輔助開口包括兩排所述第二輔助開口的情況下,所述多個(gè)開口區(qū)在所述第一方向上排布在兩排所述第二輔助開口之間,且每一行所述開口區(qū)的兩側(cè)分別排布有兩個(gè)所述第二輔助開口。

20、可選的,所述第一輔助開口在所述第一方向上的長度,等于所述開口區(qū)在所述第一方向上的寬度;

21、和/或,所述第二輔助開口在所述第二方向上的長度,等于所述開口區(qū)在所述第二方向上的寬度。

22、可選的,所述第一輔助開口在所述第二方向上的寬度,小于或等于所述開口區(qū)在所述第二方向上的寬度加上在所述第二方向上相鄰分布的兩個(gè)所述開口區(qū)之間的距離的兩倍;

23、和/或,所述第二輔助開口在所述第一方向上的寬度,小于或等于所述開口區(qū)在所述第一方向上的寬度加上在所述第一方向上相鄰分布的兩個(gè)所述開口區(qū)之間的距離的兩倍。

24、可選的,所述掩膜板具有多個(gè)功能開口,所述多個(gè)功能開口環(huán)繞分布在所述多個(gè)開口區(qū)的外圍。

25、可選的,在所述功能開口在所述參考平面上的正投影,位于所述輔助開口在所述參考平面上的正投影內(nèi)的情況下,所述遮擋條具有所述功能開口。

26、可選的,所述功能開口分布在所述輔助開口和相鄰的所述開口區(qū)之間的情況下,所述遮擋條在所述參考平面上的正投影,與所述功能開口在所述參考平面上的正投影不重合。

27、可選的,所述多個(gè)功能開口包括:多個(gè)用于與待沉膜的基板進(jìn)行對位的對位開口,和/或,用于在待沉膜的基板上形成測試膜層的多個(gè)檢測開口。

28、另一方面,提供了一種掩膜板的制備方法,包括:

29、在環(huán)形框架的一側(cè)形成與所述環(huán)形框架固定連接的掩膜網(wǎng),所述掩膜網(wǎng)具有陣列排布的多個(gè)開口區(qū),以及位于所述多個(gè)開口區(qū)外圍的輔助開口,所述多個(gè)開口區(qū)和所述輔助開口在與所述掩膜網(wǎng)平行的參考平面上的正投影,均位于所述環(huán)形框架在所述參考平面上的正投影所圍成的區(qū)域內(nèi);

30、在所述掩膜網(wǎng)背離所述環(huán)形框架的一側(cè)形成遮擋條,所述遮擋條覆蓋所述輔助開口。

31、又一方面,提供了一種顯示面板,包括:至少一層功能膜層,所述至少一層功能膜層是基于上述任一所述的掩膜板形成的。

32、可選的,所述顯示面板包括:驅(qū)動(dòng)背板,位于所述驅(qū)動(dòng)背板一側(cè)的多個(gè)發(fā)光器件,以及位于所述多個(gè)發(fā)光器件背離所述驅(qū)動(dòng)背板一側(cè)的封裝層;

33、其中,所述封裝層包括:層疊設(shè)置的第一無機(jī)封裝層、有機(jī)封裝和第二無機(jī)封裝層,所述第一無機(jī)封裝層和所述第二無機(jī)封裝層均為所述功能膜層。

34、本技術(shù)實(shí)施例提供的技術(shù)方案帶來的有益效果至少包括:

35、通過在掩膜網(wǎng)上設(shè)置位于多個(gè)開口區(qū)外圍的輔助開口,且設(shè)置遮擋條覆蓋輔助開口,可以保證基板上不會(huì)形成額外的膜層結(jié)構(gòu)的前提下,保證掩膜網(wǎng)的邊緣處設(shè)置的開口區(qū)的邊界出現(xiàn)起翹不良現(xiàn)象的概率較低。如此,采用這種掩膜板在基板上沉膜的過程中,待沉膜的材料可以精準(zhǔn)的穿過各個(gè)開口區(qū)并沉積在基板上,使得基板中基于各個(gè)開口區(qū)沉積形成的薄膜均不會(huì)包含冗余的陰影部分,進(jìn)而使得基板上所要形成的薄膜的精準(zhǔn)度較高,以保證后續(xù)對基板進(jìn)行切割后所得到的顯示面板的可靠性較高。

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