本發(fā)明涉及一種保持環(huán)，更詳細(xì)地說，涉及使用于cmp裝置的研磨頭上，以在執(zhí)行cmp(化學(xué)機械研磨)工藝期間在已設(shè)定的區(qū)域容納半導(dǎo)體晶片的保持環(huán)。

背景技術(shù)：

1、近來，作為隨著半導(dǎo)體晶片的高密度及高功能化而將半導(dǎo)體晶片表面平坦化的裝置，正在利用化學(xué)機械研磨(cmp)裝置，在執(zhí)行化學(xué)性研磨的同時執(zhí)行機械性研磨。

2、在半導(dǎo)體制造工藝中，cmp工藝是利用化學(xué)液的漿料和研磨墊片，在漿料和晶片之間發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的同時將研磨墊片的機械力傳遞給晶片，進(jìn)而將晶片平坦化的工藝。

3、在cmp裝置中，研磨頭包括保持環(huán)與晶片載體。晶片載體起到將晶片以接觸于研磨頭下面的狀態(tài)位于研磨墊片上的作用，之后通過研磨墊片、研磨頭的旋轉(zhuǎn)來旋轉(zhuǎn)晶片的同時進(jìn)行研磨。

4、晶片的研磨過程中，配置在晶片載體下端的保持環(huán)起到在晶片研磨途中防止晶片脫離于晶片載體的作用。保持環(huán)通常位于晶片載體的最下端，是包圍晶片的側(cè)面的環(huán)形狀。

5、如上所述，在cmp工藝使用的保持環(huán)為，隨著高機械性強度及耐化學(xué)性成為必然要求，以往，在通常情況下，對于保持環(huán)通過全部利用機械性強度及耐化學(xué)性優(yōu)秀的工程塑料的注塑方式制造或者在工程塑料內(nèi)部插入金屬芯進(jìn)行注塑的插入式注塑方式制造。在這種保持環(huán)的制造過程中出現(xiàn)在保持環(huán)的表面出現(xiàn)單側(cè)磨損現(xiàn)象的問題，因此需要開發(fā)能夠改善這一問題的保持環(huán)。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、(要解決的問題)

2、本發(fā)明的一實施例提供一種保持環(huán)，制造成使保持環(huán)保持平坦，沒有左右歪曲，進(jìn)而可防止在研磨工藝時出現(xiàn)單側(cè)研磨。

3、本發(fā)明要解決的課題不限于在以上提及的，而在此未提及的其他課題，在本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識的相關(guān)人員可從以下的記載中明確理解。

4、(解決問題的手段)

5、根據(jù)本發(fā)明的一實施例的保持環(huán)可包括：內(nèi)部環(huán)；外部環(huán)，形成為包圍所述內(nèi)部環(huán)的至少一部分，并且使用與所述內(nèi)部環(huán)不同的材料制作；及支撐塊，插入于所述內(nèi)部環(huán)與所述外部環(huán)的內(nèi)部，在下端配置突出配置接觸突起，以與模具的頂針的端部接觸。

6、在所述外部環(huán)的上面形成用于與研磨頭結(jié)合的結(jié)合槽，在所述支撐塊從上面可凹陷形成與所述結(jié)合槽相對應(yīng)的模塊槽。

7、所述支撐塊可形成在與排漿槽相對應(yīng)的位置，所述排漿槽在所述外部環(huán)的下面沿著圓周方向形成。

8、所述接觸突起為，在制造過程中通過加工被切開上端一部分，并且在所述排漿槽中可暴露在外部。

9、在所述支撐塊的外周面可配置阻擋凸緣，所述阻擋凸緣突出呈放射狀以用于阻擋漿料，不使?jié){料流向所述內(nèi)部環(huán)側(cè)。

10、在所述支撐塊的外周面中，在所述阻擋凸緣的上部側(cè)可形成凹陷部，所述凹陷部凹陷成直徑小于所述阻擋凸緣。

11、在所述支撐塊的外周面可形成向上傾斜呈放射狀的傾斜面。

12、2個以上的所述傾斜面可具有相互不同的傾斜角。

13、所述內(nèi)部環(huán)用金屬材料制作，所述外部環(huán)及所述支撐塊可用樹脂材料制作。

14、(發(fā)明的效果)

15、根據(jù)本發(fā)明的一實施例，在支撐塊的下端突出配置與模具的上部頂針的端部接觸的接觸突起，進(jìn)而在支撐塊保持平坦度，水平及同心沒有歪曲的狀態(tài)下進(jìn)行制造。因此，制造成使保持環(huán)平坦，沒有左右歪曲，進(jìn)而可防止在研磨工藝時出現(xiàn)單側(cè)研磨。

技術(shù)特征：

1.一種保持環(huán)，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的保持環(huán)，其特征在于，

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的保持環(huán)，其特征在于，

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的保持環(huán)，其特征在于，

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的保持環(huán)，其特征在于，

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的保持環(huán)，其特征在于，

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的保持環(huán)，其特征在于，

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的保持環(huán)，其特征在于，

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的保持環(huán)，其特征在于，

技術(shù)總結(jié)
根據(jù)本發(fā)明的一實施例的保持環(huán)可包括：內(nèi)部環(huán)；外部環(huán)，形成為包圍所述內(nèi)部環(huán)的至少一部分，并且使用與所述內(nèi)部環(huán)不同的材料制作；及支撐塊，插入于所述內(nèi)部環(huán)與所述外部環(huán)的內(nèi)部，在下端配置突出配置接觸突起，以與模具的頂針的端部接觸。

技術(shù)研發(fā)人員：樸海申,李承宗,崔成旭
受保護(hù)的技術(shù)使用者：株式會社一諾迪思
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/5/8