本發(fā)明屬于半導(dǎo)體，具體涉及到一種真空吸盤式的不掉落晶棒抓手裝置及使用方法。

背景技術(shù)：

1、晶棒運(yùn)輸一般使用機(jī)械抓手或真空吸盤抓手，機(jī)械抓手在使用中易對(duì)晶棒表面造成損傷，而現(xiàn)有的真空吸盤抓手，在誤操作或緊急情況下斷電斷氣后導(dǎo)致抓取中的晶棒掉落產(chǎn)生人員傷亡和財(cái)產(chǎn)損失，無法保證真空吸盤的使用穩(wěn)定性。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供一種真空吸盤式的不掉落晶棒抓手裝置及使用方法，本發(fā)明通過采用真空發(fā)生器產(chǎn)生負(fù)壓到吸盤對(duì)晶棒進(jìn)行吸附抓取作業(yè)，通過機(jī)器人帶動(dòng)抓手到晶棒上方進(jìn)行搬運(yùn)，搬運(yùn)過程中由單向閥和邏輯閥對(duì)吸盤進(jìn)行穩(wěn)定保持負(fù)壓來達(dá)到斷氣不掉落晶棒，由常開型電磁閥來達(dá)到斷電不掉落晶棒。

2、為了實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明專利提供的技術(shù)方案如下：

3、一種真空吸盤式的不掉落晶棒抓手裝置，該裝置包括主體、罩殼、真空吸附模組和破真空模組，所述主體包括第一支撐框架和第二支撐框架，所述罩殼包括第一罩殼和第二罩殼，所述第一支撐框架上設(shè)置有第一罩殼，所述第二支撐框架上設(shè)置有第二罩殼，所述第一支撐框架下部與第二支撐框架連接；

4、所述真空吸附模組包括常開型電磁閥、真空發(fā)生器、閥座、閥組和吸盤組件，所述第一支撐框架上端兩側(cè)分別設(shè)置有真空發(fā)生器，每個(gè)真空發(fā)生器內(nèi)側(cè)的第一支撐框架上設(shè)置有常開型電磁閥，常開型電磁閥控制真空發(fā)生器氣路通斷，所述真空發(fā)生器通過氣路管道與閥座連通，閥座設(shè)置在第二支撐框架上部，閥座下端設(shè)置有多個(gè)閥組，所述第二支撐框架底部設(shè)置有多個(gè)吸盤組件，閥座上的閥組分別與吸盤組件連通；

5、所述破真空模組包括真空電磁閥和單向閥，所述真空電磁閥設(shè)置在第一支撐框架上端，所述真空電磁閥通過氣路管道與單向閥連通，單向閥與吸盤組件連通。

6、進(jìn)一步地，所述第一支撐框架端面中部設(shè)置有安裝板，安裝板與機(jī)器人抓手連接，所述第一支撐架兩端分別設(shè)置有緩沖連接件，所述緩沖連接件設(shè)置在真空發(fā)生器一側(cè)，所述緩沖連接件將第一支撐架和第二支撐架連接，所述緩沖連接件為伸縮軸，伸縮軸一端與第一支撐框架連接固定，伸縮軸另一端與第二支撐框架連接固定，伸縮軸上還設(shè)置有緩沖彈簧；安裝板端面上設(shè)置有與機(jī)器人抓手固定連接的固定孔。

7、進(jìn)一步地，所述第二支撐框架整體為方形框架結(jié)構(gòu)，所述第二支撐框架上部面板通過伸縮軸與第一支撐框架連接，所述第二支撐框架上部面板下端面平行設(shè)置有兩個(gè)閥座，每個(gè)閥座上設(shè)置有多個(gè)閥組，閥組包括常開型電磁閥和單向閥，常開型電磁閥與單向閥連通，每個(gè)閥組分別與每個(gè)吸盤組件連通。

8、進(jìn)一步地，所述吸盤組件包括邏輯閥和吸盤，所述吸盤設(shè)置在第二支撐框架底部，第二支撐框架底部平行設(shè)置有兩排吸盤，每個(gè)閥座對(duì)應(yīng)控制一排吸盤，每個(gè)吸盤上分別設(shè)置有邏輯閥，每個(gè)吸盤通過邏輯閥分別與對(duì)應(yīng)閥座上的閥組通過氣路管道連通。

9、進(jìn)一步地，所述破真空模組中的單向閥設(shè)置在吸盤組件上。

10、進(jìn)一步地，所述吸盤組件上分別設(shè)置有壓力表，壓力表檢測(cè)吸盤吸附時(shí)的壓力變化，并將檢測(cè)的壓力信號(hào)傳輸至網(wǎng)絡(luò)控制模塊，網(wǎng)絡(luò)控制模塊設(shè)置在第一支撐框架側(cè)面，網(wǎng)絡(luò)控制模塊根據(jù)接收到的每個(gè)吸盤組件的壓力信號(hào)通過控制閥座上每個(gè)閥組的常開型電磁閥的通斷。

11、進(jìn)一步地，所述第二支撐框架一側(cè)設(shè)置有集線器，集線器與網(wǎng)絡(luò)控制模塊設(shè)置在同一側(cè)。

12、一種真空吸盤式的不掉落晶棒抓手裝置的使用方法，該方法具體包括如下步驟：

13、s1，準(zhǔn)備一種真空吸盤式的不掉落晶棒抓手裝置，該裝置包括主體、罩殼、真空吸附模組和破真空模組，所述主體包括第一支撐框架和第二支撐框架，所述罩殼包括第一罩殼和第二罩殼，所述第一支撐框架上設(shè)置有第一罩殼，所述第二支撐框架上設(shè)置有第二罩殼，所述第一支撐框架下部與第二支撐框架連接；

14、所述真空吸附模組包括常開型電磁閥、真空發(fā)生器、閥座、閥組和吸盤組件，所述第一支撐框架上端兩側(cè)分別設(shè)置有真空發(fā)生器，每個(gè)真空發(fā)生器內(nèi)側(cè)的第一支撐框架上設(shè)置有常開型電磁閥，常開型電磁閥控制真空發(fā)生器氣路通斷，所述真空發(fā)生器通過氣路管道與閥座連通，閥座設(shè)置在第二支撐框架上部，閥座下端設(shè)置有多個(gè)閥組，所述第二支撐框架底部設(shè)置有多個(gè)吸盤組件，閥座上的閥組分別與吸盤組件連通；

15、所述破真空模組包括真空電磁閥和單向閥，所述真空電磁閥設(shè)置在第一支撐框架上端，所述真空電磁閥通過氣路管道與單向閥連通，單向閥與吸盤組件連通；

16、s2，機(jī)器人抓手與安裝板固定連接，機(jī)器人抓手將抓手裝置移至待吸附移動(dòng)的晶棒上方，抓手裝置下落使底部吸盤與晶棒頂部連接；

17、s3，第一支撐框架上的兩個(gè)真空發(fā)生器啟動(dòng)，真空發(fā)生器產(chǎn)生負(fù)壓至閥座，閥座將負(fù)壓氣路分流至每個(gè)閥組上的常開型電磁閥，再通過單向閥通向吸盤組件，吸盤組件中的吸盤產(chǎn)生吸附力將晶棒吸附；

18、s4，吸盤組件上的壓力表將監(jiān)測(cè)的壓力信號(hào)傳輸至網(wǎng)絡(luò)控制模塊，網(wǎng)絡(luò)控制模塊根據(jù)接收的壓力信號(hào)，將壓力未達(dá)到閾值的吸盤組件對(duì)應(yīng)的閥組上的常開型電磁閥關(guān)閉；

19、s5，機(jī)器人抓手將晶棒抓起移至要求位置，真空電磁閥啟動(dòng)，真空電磁閥控制吸盤組件上破真空模組中單向閥的氣路開啟，使吸盤破真空消除吸盤吸附力，抓手裝置與晶棒分離，完成晶棒吸附搬運(yùn)。

20、進(jìn)一步地，所述真空發(fā)生器產(chǎn)生的壓力為0.2mpa-0.6mpa。

21、基于上述技術(shù)方案，本發(fā)明專利一種真空吸盤式的不掉落晶棒抓手裝置及使用方法經(jīng)過實(shí)踐應(yīng)用取得了如下技術(shù)優(yōu)點(diǎn)：

22、1.本發(fā)明一種真空吸盤式的不掉落晶棒抓手裝置的使用方法通過采用真空發(fā)生器產(chǎn)生負(fù)壓到吸盤對(duì)晶棒進(jìn)行吸附抓取作業(yè)，通過機(jī)器人帶動(dòng)抓手到晶棒上方進(jìn)行搬運(yùn)，搬運(yùn)過程中由單向閥和邏輯閥對(duì)吸盤進(jìn)行穩(wěn)定保持負(fù)壓來達(dá)到斷氣不掉落晶棒，由常開型電磁閥來達(dá)到斷電不掉落晶棒。

技術(shù)特征：

1.一種真空吸盤式的不掉落晶棒抓手裝置，其特征在于，該裝置包括主體、罩殼、真空吸附模組和破真空模組，所述主體包括第一支撐框架和第二支撐框架，所述罩殼包括第一罩殼和第二罩殼，所述第一支撐框架上設(shè)置有第一罩殼，所述第二支撐框架上設(shè)置有第二罩殼，所述第一支撐框架下部與第二支撐框架連接；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空吸盤式的不掉落晶棒抓手裝置，其特征在于，所述第一支撐框架端面中部設(shè)置有安裝板，安裝板與機(jī)器人抓手連接，所述第一支撐架兩端分別設(shè)置有緩沖連接件，所述緩沖連接件設(shè)置在真空發(fā)生器一側(cè)，所述緩沖連接件將第一支撐架和第二支撐架連接，所述緩沖連接件為伸縮軸，伸縮軸一端與第一支撐框架連接固定，伸縮軸另一端與第二支撐框架連接固定，伸縮軸上還設(shè)置有緩沖彈簧；安裝板端面上設(shè)置有與機(jī)器人抓手固定連接的固定孔。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種真空吸盤式的不掉落晶棒抓手裝置，其特征在于，所述第二支撐框架整體為方形框架結(jié)構(gòu)，所述第二支撐框架上部面板通過伸縮軸與第一支撐框架連接，所述第二支撐框架上部面板下端面平行設(shè)置有兩個(gè)閥座，每個(gè)閥座上設(shè)置有多個(gè)閥組，閥組包括常開型電磁閥和單向閥，常開型電磁閥與單向閥連通，每個(gè)閥組分別與每個(gè)吸盤組件連通。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種真空吸盤式的不掉落晶棒抓手裝置，其特征在于，所述吸盤組件包括邏輯閥和吸盤，所述吸盤設(shè)置在第二支撐框架底部，第二支撐框架底部平行設(shè)置有兩排吸盤，每個(gè)閥座對(duì)應(yīng)控制一排吸盤，每個(gè)吸盤上分別設(shè)置有邏輯閥，每個(gè)吸盤通過邏輯閥分別與對(duì)應(yīng)閥座上的閥組通過氣路管道連通。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種真空吸盤式的不掉落晶棒抓手裝置，其特征在于，所述破真空模組中的單向閥設(shè)置在吸盤組件上。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種真空吸盤式的不掉落晶棒抓手裝置，其特征在于，所述吸盤組件上分別設(shè)置有壓力表，壓力表檢測(cè)吸盤吸附時(shí)的壓力變化，并將檢測(cè)的壓力信號(hào)傳輸至網(wǎng)絡(luò)控制模塊，網(wǎng)絡(luò)控制模塊設(shè)置在第一支撐框架側(cè)面，網(wǎng)絡(luò)控制模塊根據(jù)接收到的每個(gè)吸盤組件的壓力信號(hào)通過控制閥座上每個(gè)閥組的常開型電磁閥的通斷。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種真空吸盤式的不掉落晶棒抓手裝置，其特征在于，所述第二支撐框架一側(cè)設(shè)置有集線器，集線器與網(wǎng)絡(luò)控制模塊設(shè)置在同一側(cè)。

8.一種真空吸盤式的不掉落晶棒抓手裝置的使用方法，其特征在于，該方法具體包括如下步驟：

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種真空吸盤式的不掉落晶棒抓手裝置的使用方法，其特征在于，所述真空發(fā)生器產(chǎn)生的壓力為0.2mpa-0.6mpa。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種真空吸盤式的不掉落晶棒抓手裝置，該裝置包括主體、罩殼、真空吸附模組和破真空模組，所述主體包括第一支撐框架和第二支撐框架，所述罩殼包括第一罩殼和第二罩殼，所述第一支撐框架上設(shè)置有第一罩殼，所述第二支撐框架上設(shè)置有第二罩殼，所述第一支撐框架下部與第二支撐框架連接。本發(fā)明通過采用真空發(fā)生器產(chǎn)生負(fù)壓到吸盤對(duì)晶棒進(jìn)行吸附抓取作業(yè)，通過機(jī)器人帶動(dòng)抓手到晶棒上方進(jìn)行搬運(yùn)，搬運(yùn)過程中由單向閥和邏輯閥對(duì)吸盤進(jìn)行穩(wěn)定保持負(fù)壓來達(dá)到斷氣不掉落晶棒，由常開型電磁閥來達(dá)到斷電不掉落晶棒。

技術(shù)研發(fā)人員：朱國(guó)量,覃銘,張興祎,朱國(guó)雷,李玉
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海樸席自動(dòng)化工程有限責(zé)任公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/5/8