管路粉塵清潔器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體領(lǐng)域，涉及一種管路粉塵清潔器。
【背景技術(shù)】
[0002]在集成電路制造中，二氧化硅層的生長(zhǎng)是重要的一個(gè)環(huán)節(jié)，其反應(yīng)方程式為:Si (O
C2H5)4+02----->Si02+副產(chǎn)物(by-products)。由于反應(yīng)氣體充斥于整個(gè)反應(yīng)腔體，不僅會(huì)在晶圓表面生長(zhǎng)二氧化硅膜從而達(dá)到工藝目的，也會(huì)在晶圓表面之外的其他地方形成二氧化硅粉末，為了維持正常的工藝過(guò)程序要保證腔體內(nèi)的壓力小于4Torr，整個(gè)過(guò)程需要由栗不停的抽出反應(yīng)氣體，從而導(dǎo)致了工藝過(guò)程中產(chǎn)生的多余二氧化硅粉末會(huì)經(jīng)過(guò)管路到達(dá)栗然后排出，經(jīng)過(guò)一段時(shí)間，大量的二氧化硅粉末會(huì)凝固在管路內(nèi)壁甚至堵塞管路，導(dǎo)致腔體內(nèi)壓力過(guò)高，影響二氧化硅層的質(zhì)量。此現(xiàn)象在大量生產(chǎn)Ilk埃厚度以上的膜時(shí)尤為明顯。
[0003]目前，為了維持反應(yīng)腔體排氣管路暢通，一般每當(dāng)腔體生產(chǎn)晶圓超過(guò)10000片的時(shí)候，需要停機(jī)維護(hù)，拆開(kāi)管路清除粉末，全過(guò)程需要12小時(shí)左右(不包含機(jī)臺(tái)監(jiān)測(cè)(monitor)準(zhǔn)備時(shí)間)，并且會(huì)對(duì)無(wú)塵室周?chē)h(huán)境造成一定的影響。如果大量生產(chǎn)比較厚的二氧化硅層，往往8000片就需要停機(jī)維護(hù)。
[0004]因此，如何提供一種管路粉塵清潔裝置，以解決工藝腔體的排氣管路堵塞問(wèn)題，減少停機(jī)清管路的頻率，從而提高機(jī)臺(tái)的可運(yùn)行時(shí)間，從而提高生產(chǎn)效率，成為本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的一個(gè)重要技術(shù)問(wèn)題。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于提供一種管路粉塵清潔器，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中工藝腔體的排氣管路清潔效率低的問(wèn)題。
[0006]為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實(shí)用新型提供一種管路粉塵清潔器，包括:
[0007]基座，所述基座內(nèi)部形成有一收容空間，頂部具有第一開(kāi)口，底部具有第二開(kāi)口 ；
[0008]齒圈，水平設(shè)于所述收容空間內(nèi)；
[0009]至少一個(gè)旋轉(zhuǎn)鏟，所述旋轉(zhuǎn)鏟底端與所述齒圈連接，頂端從所述第一開(kāi)口伸出；
[0010]旋轉(zhuǎn)軸，穿通所述基座一側(cè)面，且內(nèi)端伸入所述收容空間內(nèi)；
[0011]齒輪，連接于所述旋轉(zhuǎn)軸內(nèi)端，并與所述齒圈相配合，隨所述旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)所述齒圈轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)所述旋轉(zhuǎn).產(chǎn)運(yùn)動(dòng)。
[0012]可選地，所述旋轉(zhuǎn)鏟包括柱狀主體及連接于所述柱狀主體側(cè)面的刮片。
[0013]可選地，所述柱狀主體為圓柱體或多面柱體。
[0014]可選地，所述刮片的橫截面尺寸由內(nèi)而外逐漸減小。
[0015]可選地，所述刮片的橫截面圖形呈弧線彎曲。
[0016]可選地，所述柱狀主體為圓柱體，所述刮片的外側(cè)面與所述柱狀主體的外側(cè)面平滑連接。
[0017]可選地，所述旋轉(zhuǎn)鏟的數(shù)量為2-15個(gè)，均勻分布于所述齒圈上。
[0018]可選地，所述旋轉(zhuǎn)鏟與所述齒圈可拆卸連接。
[0019]可選地，所述齒圈上設(shè)有銷(xiāo)子，所述旋轉(zhuǎn)鏟底部設(shè)有與所述銷(xiāo)子相配合的銷(xiāo)孔。
[0020]可選地，所述旋轉(zhuǎn)鏟與所述齒圈焊接連接。
[0021]可選地，所述齒圈通過(guò)設(shè)于所述收容空間底部的滾動(dòng)軸承承載于所述收容空間內(nèi)。
[0022]可選地，所述第二開(kāi)口邊緣設(shè)有突出臺(tái)階，所述滾動(dòng)軸承的內(nèi)圈卡于所述突出臺(tái)階，夕卜圈卡于所述齒圈。
[0023]可選地，所述旋轉(zhuǎn)軸與所述基座的連接處設(shè)有動(dòng)密封圈。
[0024]可選地，所述旋轉(zhuǎn)軸外端連接有一旋鈕。
[0025]可選地，所述基座側(cè)壁設(shè)有一與所述收容空間連通的排氣孔，所述排氣孔上可開(kāi)合的設(shè)有用于密封或開(kāi)啟所述排氣孔的蓋體。
[0026]可選地，所述基座頂部和底部均設(shè)有管路安裝孔。
[0027]如上所述，本實(shí)用新型的管路粉塵清潔器，具有以下有益效果:本實(shí)用新型的管路粉塵清潔器可安裝于工藝腔體的排氣管路之間，具體可安裝于待清理管道下方、門(mén)板閥(gate valve)上方，清潔器的旋轉(zhuǎn)鏟伸入待清理管道內(nèi)，并與管道內(nèi)壁接觸。隨著沉積工藝的進(jìn)行，工藝過(guò)程中產(chǎn)生的多余粉末凝固在管道內(nèi)壁及所述旋轉(zhuǎn)鏟表面。當(dāng)所述管路粉塵清潔器工作時(shí)，無(wú)需拆開(kāi)管路，外部扭力通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸帶動(dòng)內(nèi)部齒圈轉(zhuǎn)動(dòng)，旋轉(zhuǎn)鏟隨著齒圈一起轉(zhuǎn)動(dòng)，從而將管道內(nèi)部的二氧化硅層或其它材料粉末凝固層鏟下。由于二氧化硅粉末是以粉末顆粒的形式凝固在管路中，所以當(dāng)其被鏟下時(shí)，其會(huì)碎裂成粉末。清理作業(yè)時(shí)候，由于下方門(mén)板閥是關(guān)閉的，上方工藝腔體是大氣狀態(tài)，所以可以通過(guò)排氣孔輕易地將粉末吸出，達(dá)到清除粉塵的目的。使用本實(shí)用新型的管路粉塵清潔器之后，原先大預(yù)防性維護(hù)(大PM)拆開(kāi)管路清潔粉末的作業(yè)可以在小預(yù)防性維護(hù)(小PM)的時(shí)候關(guān)閉門(mén)板閥進(jìn)行，不會(huì)增加過(guò)多時(shí)間。大PM頻率由之前2個(gè)月延長(zhǎng)到5個(gè)月一次。原先需要清理管路粉末的作業(yè)由12小時(shí)降低到6小時(shí)，機(jī)臺(tái)可運(yùn)行時(shí)間大大提高。
【附圖說(shuō)明】
[0028]圖1顯示為本實(shí)用新型的管路粉塵清潔器的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0029]圖2顯示為本實(shí)用新型的管路粉塵清潔器中基座的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0030]圖3顯示為本實(shí)用新型的管路粉塵清潔器中基座的剖視圖。
[0031]圖4顯示為本實(shí)用新型的管路粉塵清潔器中旋轉(zhuǎn)鏟的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0032]圖5顯示為待清理管道的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0033]圖6顯示為本實(shí)用新型的管路粉塵清潔器與待清理管道的安裝示意圖。
[0034]圖7顯示為圖6所示結(jié)構(gòu)的剖視圖。
[0035]元件標(biāo)號(hào)說(shuō)明
[0036]I基座
[0037]2第一開(kāi)口
[0038]3第二開(kāi)口
[0039]4齒圈
[0040]5旋轉(zhuǎn)鏟
[0041]6旋轉(zhuǎn)軸
[0042]7齒輪
[0043]8柱狀主體
[0044]9刮片
[0045]10突出臺(tái)階
[0046]11旋鈕
[0047]12排氣孔
[0048]13管路安裝孔
[0049]14待清理管道
[0050]15法蘭盤(pán)
【具體實(shí)施方式】
[0051]以下由特定的具體實(shí)施例說(shuō)明本實(shí)用新型的實(shí)施方式，熟悉此技術(shù)的人士可由本說(shuō)明書(shū)所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實(shí)用新型的其他優(yōu)點(diǎn)及功效。
[0052]請(qǐng)參閱圖1至圖7。須知，本說(shuō)明書(shū)所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等，均僅用以配合說(shuō)明書(shū)所揭示的內(nèi)容，以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀，并非用以限定本實(shí)用新型可實(shí)施的限定條件，故不具技術(shù)上的實(shí)質(zhì)意義，任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整，在不影響本實(shí)用新型所能產(chǎn)生的功效及所能達(dá)成的目的下，均應(yīng)仍落在本實(shí)用新型所揭示的技術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時(shí)，本說(shuō)明書(shū)中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語(yǔ)，亦僅為便于敘述的明了，而非用以限定本實(shí)用新型可實(shí)施的范圍，其相對(duì)關(guān)系的改變或調(diào)整，在無(wú)實(shí)質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下，當(dāng)亦視為本實(shí)用新型可實(shí)施的范疇。
[0053]請(qǐng)參閱圖1，本實(shí)用新型提供一種管路粉塵清潔器，包括:
[0054]基座1，所述基座I內(nèi)部形成有一收容空間，頂部具有第一開(kāi)口 2，底部具有第二開(kāi)P 3 ；
[0055]齒圈4，水平設(shè)于所述收容空間內(nèi)；
[0056]至少一個(gè)旋轉(zhuǎn)鏟5，所述旋轉(zhuǎn)鏟5底端與所述齒圈4連接，頂端從所述第一開(kāi)口 I伸出；
[0057]旋轉(zhuǎn)軸6，穿通所述基座I 一側(cè)面，且內(nèi)端伸入所述收容空間內(nèi)；
[0058]齒輪7，連接于所述旋轉(zhuǎn)軸5內(nèi)端，并與所述齒圈4相配合，隨所述旋轉(zhuǎn)軸6的旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)所述齒圈4轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)鏟5運(yùn)動(dòng)。
[0059]具體的，所述旋轉(zhuǎn)軸6外端連接有一旋鈕11，便于通過(guò)外力扭動(dòng)所述旋鈕11，使所述旋轉(zhuǎn)軸6轉(zhuǎn)動(dòng)。所述旋轉(zhuǎn)軸6與所述基座I的連接處可設(shè)有動(dòng)密封圈。動(dòng)密封圈主要用于機(jī)器(或設(shè)備)中相對(duì)運(yùn)動(dòng)件之間的密封，可以分為旋轉(zhuǎn)密封和往復(fù)密封兩種基本形式，按密封條件與其作相對(duì)運(yùn)動(dòng)的零部件是否接觸，可以分為接觸式密封和非接觸式密封，一般來(lái)說(shuō)，接觸式密封的密封性能好，但受到摩擦損傷的限制，適用于密封面線速度較低的場(chǎng)合。非接觸式密封的密封性能較差，適用于較高的速度。本實(shí)用新型中，優(yōu)選采用接觸式旋轉(zhuǎn)動(dòng)密封圈。
[0060]具體的，所述齒圈4可通過(guò)設(shè)于所述收容空間底部的滾動(dòng)軸承(未圖示)承載于所述收容空間內(nèi)。滾動(dòng)軸承一般由內(nèi)圈、外圈、滾動(dòng)體和保持架四部分組成，滾動(dòng)體分布在內(nèi)圈和外圈之間，保持架能使?jié)L動(dòng)體均勻分布，防止?jié)L動(dòng)體脫落，引導(dǎo)滾動(dòng)體旋轉(zhuǎn)起潤(rùn)滑作用。
[0061]請(qǐng)參閱圖2及圖3，分別顯示為所述基座I的結(jié)構(gòu)示意圖及