本技術(shù)涉及尾氣處理裝置，具體涉及一種氣相沉積爐尾氣焦油清除裝置。

背景技術(shù)：

1、氣相沉積法是工業(yè)制造生產(chǎn)中一種較為常見(jiàn)的化學(xué)反應(yīng)，而氣相沉積爐是此化學(xué)反應(yīng)最重要的設(shè)備，使用氣相沉積爐在生產(chǎn)過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生大量的尾氣，在尾氣中存在大量的有害物質(zhì)，焦油是其中的一種，因此需要用到尾氣焦油清除裝置對(duì)氣相沉積爐尾氣進(jìn)行處理。

2、在實(shí)際處理中，對(duì)于氣相沉積爐尾氣中的焦油清除方式，一般為吸附和冷凝兩種方式，吸附方式則是通過(guò)活性炭對(duì)尾氣中的焦油進(jìn)行清除，冷凝則是通過(guò)降低尾氣溫度使得焦油成分冷凝成液態(tài)，從而將焦油分離出來(lái)，然而吸附方式中活性炭堆在一起，使得尾氣只能夠與活性炭的部分相接觸，活性炭與尾氣的接觸面積具有局限性，從而導(dǎo)致活性炭對(duì)尾氣中的焦油清除效果較差的情況，針對(duì)該問(wèn)題應(yīng)當(dāng)做出改進(jìn)。

3、為此提出一種氣相沉積爐尾氣焦油清除裝置。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的在于：為解決上述背景技術(shù)提到的問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種氣相沉積爐尾氣焦油清除裝置。

2、本實(shí)用新型為了實(shí)現(xiàn)上述目的具體采用以下技術(shù)方案：

3、一種氣相沉積爐尾氣焦油清除裝置，包括箱體和箱門，且箱門交接安裝于箱體的表面，所述箱體的一側(cè)壁開(kāi)設(shè)有進(jìn)氣口，所述箱體的另一側(cè)壁開(kāi)設(shè)有排氣口，所述進(jìn)氣口的內(nèi)壁連接有用于對(duì)尾氣中的焦油和大顆粒雜質(zhì)進(jìn)行過(guò)濾的預(yù)處理組件，所述預(yù)處理組件的內(nèi)部設(shè)有用于對(duì)預(yù)處理組件的內(nèi)部的活性炭進(jìn)行翻動(dòng)的翻動(dòng)組件，所述箱體的頂部和內(nèi)部設(shè)有用于將尾氣中的焦油成分冷凝成液態(tài)的冷卻組件，所述排氣口的內(nèi)壁設(shè)有用于對(duì)尾氣中殘余有害物質(zhì)進(jìn)一步凈化的尾氣凈化器，所述箱體的內(nèi)側(cè)底部滑動(dòng)設(shè)有用于對(duì)液態(tài)焦油進(jìn)行收集的收集箱。

4、進(jìn)一步地，所述預(yù)處理組件包括進(jìn)氣管，所述進(jìn)氣口的內(nèi)壁固定設(shè)有進(jìn)氣管，所述進(jìn)氣管的另一端固定設(shè)有活性炭?jī)?chǔ)存桶，所述活性炭?jī)?chǔ)存桶的另一端設(shè)有引入氣嘴，所述進(jìn)氣管的內(nèi)壁固定設(shè)有濾網(wǎng)。

5、進(jìn)一步地，所述翻動(dòng)組件包括風(fēng)扇，所述活性炭?jī)?chǔ)存桶的內(nèi)壁固定設(shè)有風(fēng)扇，所述風(fēng)扇上固定設(shè)有攪拌桿。

6、進(jìn)一步地，所述攪拌桿呈l型設(shè)置，且攪拌桿與活性炭?jī)?chǔ)存桶的內(nèi)徑相適配。

7、進(jìn)一步地，所述冷卻組件包括冷卻箱，所述箱體的頂部固定設(shè)有冷卻箱，所述冷卻箱的表面連接有管體，且管體的另一端貫穿箱體的側(cè)壁并延伸至箱體的內(nèi)部，所述管體的該端固定連接有盤管。

8、進(jìn)一步地，所述管體共設(shè)有兩組，且兩組管體的相對(duì)端分別與盤管的兩端固定連接。

9、本實(shí)用新型的有益效果如下：

10、1、本實(shí)用新型通過(guò)預(yù)處理組件和其內(nèi)部的活性炭對(duì)尾氣進(jìn)行預(yù)處理，從而對(duì)尾氣中的焦油初步過(guò)濾，且能夠?qū)ξ矚庵械拇箢w粒雜質(zhì)進(jìn)行過(guò)濾，在氣流的作用下能夠驅(qū)動(dòng)翻動(dòng)組件，從而節(jié)約能耗，通過(guò)翻動(dòng)組件的能夠?qū)钚蕴窟M(jìn)行翻動(dòng)，從而增加活性炭與尾氣的接觸面積，進(jìn)而提高對(duì)尾氣的過(guò)濾效果，預(yù)處理后的尾氣進(jìn)入箱體的內(nèi)部，通過(guò)冷卻組件能夠降低尾氣溫度使焦油成分冷凝成液態(tài)，從而對(duì)尾氣中的焦油進(jìn)行二次清除，冷凝成液態(tài)的焦油豎直下落至收集箱的內(nèi)部進(jìn)行收集，最后再通過(guò)尾氣凈化器對(duì)尾氣中殘余有害物質(zhì)進(jìn)一步凈化，從而提高了對(duì)氣相沉積爐尾氣焦油的清除效果。

技術(shù)特征：

1.一種氣相沉積爐尾氣焦油清除裝置，其特征在于，包括箱體(1)和箱門(8)，且箱門(8)交接安裝于箱體(1)的表面，所述箱體(1)的一側(cè)壁開(kāi)設(shè)有進(jìn)氣口(2)，所述箱體(1)的另一側(cè)壁開(kāi)設(shè)有排氣口(3)，所述進(jìn)氣口(2)的內(nèi)壁連接有用于對(duì)尾氣中的焦油和大顆粒雜質(zhì)進(jìn)行過(guò)濾的預(yù)處理組件(4)，所述預(yù)處理組件(4)的內(nèi)部設(shè)有用于對(duì)預(yù)處理組件(4)的內(nèi)部的活性炭進(jìn)行翻動(dòng)的翻動(dòng)組件(5)，所述箱體(1)的頂部和內(nèi)部設(shè)有用于將尾氣中的焦油成分冷凝成液態(tài)的冷卻組件(6)，所述排氣口(3)的內(nèi)壁設(shè)有用于對(duì)尾氣中殘余有害物質(zhì)進(jìn)一步凈化的尾氣凈化器(7)，所述箱體(1)的內(nèi)側(cè)底部滑動(dòng)設(shè)有用于對(duì)液態(tài)焦油進(jìn)行收集的收集箱(9)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氣相沉積爐尾氣焦油清除裝置，其特征在于，所述預(yù)處理組件(4)包括進(jìn)氣管(403)，所述進(jìn)氣口(2)的內(nèi)壁固定設(shè)有進(jìn)氣管(403)，所述進(jìn)氣管(403)的另一端固定設(shè)有活性炭?jī)?chǔ)存桶(401)，所述活性炭?jī)?chǔ)存桶(401)的另一端設(shè)有引入氣嘴(402)，所述進(jìn)氣管(403)的內(nèi)壁固定設(shè)有濾網(wǎng)(404)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種氣相沉積爐尾氣焦油清除裝置，其特征在于，所述翻動(dòng)組件(5)包括風(fēng)扇(501)，所述活性炭?jī)?chǔ)存桶(401)的內(nèi)壁固定設(shè)有風(fēng)扇(501)，所述風(fēng)扇(501)上固定設(shè)有攪拌桿(502)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種氣相沉積爐尾氣焦油清除裝置，其特征在于，所述攪拌桿(502)呈l型設(shè)置，且攪拌桿(502)與活性炭?jī)?chǔ)存桶(401)的內(nèi)徑相適配。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氣相沉積爐尾氣焦油清除裝置，其特征在于，所述冷卻組件(6)包括冷卻箱(601)，所述箱體(1)的頂部固定設(shè)有冷卻箱(601)，所述冷卻箱(601)的表面連接有管體(602)，且管體(602)的另一端貫穿箱體(1)的側(cè)壁并延伸至箱體(1)的內(nèi)部，所述管體(602)的該端固定連接有盤管(603)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種氣相沉積爐尾氣焦油清除裝置，其特征在于，所述管體(602)共設(shè)有兩組，且兩組管體(602)的相對(duì)端分別與盤管(603)的兩端固定連接。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開(kāi)了一種氣相沉積爐尾氣焦油清除裝置，涉及尾氣處理裝置技術(shù)領(lǐng)域。本技術(shù)一種氣相沉積爐尾氣焦油清除裝置，包括箱體和箱門，箱體的一側(cè)壁開(kāi)設(shè)有進(jìn)氣口，箱體的另一側(cè)壁開(kāi)設(shè)有排氣口，進(jìn)氣口的內(nèi)壁連接有預(yù)處理組件，預(yù)處理組件的內(nèi)部設(shè)有翻動(dòng)組件，箱體的頂部和內(nèi)部設(shè)有冷卻組件，排氣口的內(nèi)壁設(shè)有尾氣凈化器，箱體的內(nèi)側(cè)底部滑動(dòng)設(shè)有收集箱。本技術(shù)，通過(guò)預(yù)處理組件和其內(nèi)部的活性炭對(duì)尾氣進(jìn)行預(yù)處理，從而對(duì)尾氣中的焦油初步過(guò)濾，且能夠?qū)ξ矚庵械拇箢w粒雜質(zhì)進(jìn)行過(guò)濾，在氣流的作用下能夠驅(qū)動(dòng)翻動(dòng)組件，從而節(jié)約能耗，通過(guò)翻動(dòng)組件的能夠?qū)钚蕴窟M(jìn)行翻動(dòng)，從而增加活性炭與尾氣的接觸面積，進(jìn)而提高對(duì)尾氣的過(guò)濾效果。

技術(shù)研發(fā)人員：徐煒,孫礦
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海晨華科技股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240523
技術(shù)公布日：2025/1/20