本技術(shù)涉及的是一種溫度可調(diào)節(jié)的特種氣體輸送柜，屬于特種氣體輸送柜。

背景技術(shù)：

1、在半導體生產(chǎn)用的特種氣體供應系統(tǒng)中，大部分氣體輸送柜都需要對氣體輸送柜內(nèi)部閥部件及管路進行加熱，特別是液化的低蒸汽壓氣體和大流量氣體輸送，在氣瓶中氣體蒸發(fā)后，由于蒸發(fā)吸熱和節(jié)流效應都會產(chǎn)生冷卻作用，會導致氣瓶本體溫度、輸送管路溫度大幅下降甚至液化，使氣瓶蒸發(fā)量不足、壓力不穩(wěn)定，會導致氣體供應流量不足和管件由于低溫導致?lián)p壞等問題。

2、現(xiàn)有技術(shù)解決方案一般是對氣瓶、閥件和氣體管路進行加熱，來保證氣體管路溫度，但由于氣體輸送柜結(jié)構(gòu)一把都是單層碳鋼板設(shè)計，保溫效果不佳、熱損耗大，導致管路系統(tǒng)整體加熱效率低，且氣體設(shè)備使用成本較高。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型提出的是一種溫度可調(diào)節(jié)的特種氣體輸送柜，其目的旨在克服現(xiàn)有技術(shù)存在的上述不足，提高柜內(nèi)結(jié)構(gòu)加熱效率，并改善保溫效果，降低熱損耗。

2、本實用新型的技術(shù)解決方案：一種溫度可調(diào)節(jié)的特種氣體輸送柜，其結(jié)構(gòu)包括特種氣體輸送柜柜體，氣體輸送柜柜體內(nèi)部由多孔均流隔板分隔為左右設(shè)置的溫度調(diào)節(jié)腔和管路閥盤腔，溫度調(diào)節(jié)腔側(cè)頂部通過送風管外接工業(yè)熱風機出風口，多孔均流隔板上均布有均流孔?？諝馔ㄟ^工業(yè)熱風機加熱為40-45℃，進入溫度調(diào)節(jié)腔，然后經(jīng)過多孔均流隔板，進入管路閥盤腔，維持溫度35-40℃。

3、優(yōu)選的，所述的工業(yè)熱風機進風口設(shè)g4過濾棉?？蓪M風進行過濾。

4、優(yōu)選的，所述的多孔均流隔板上的均流孔分布范圍覆蓋管路閥盤腔內(nèi)部的氣瓶、閥件和管路?？杀ＷC加熱效果。

5、優(yōu)選的，所述的溫度調(diào)節(jié)腔除多孔均流隔板以外的外側(cè)面均覆蓋有保溫層?？蛇M一步降低人損耗，提高加熱保溫效果。

6、本實用新型的優(yōu)點：結(jié)構(gòu)設(shè)計合理，可通過工業(yè)熱風機將空氣加熱至40-45℃后，送入輸送柜內(nèi)分隔出的溫度調(diào)節(jié)腔內(nèi)，再通過分隔板上的均流孔送入氣瓶、閥件、管路所在的管路閥盤腔內(nèi)，將腔內(nèi)環(huán)境溫度維持在35-40℃，可有效實現(xiàn)加熱保溫，可降低熱損耗，提高管路閥盤腔內(nèi)整體加熱效果，進而改善閥件、管路的使用性能和可靠性。

技術(shù)特征：

1.一種溫度可調(diào)節(jié)的特種氣體輸送柜，其特征在于，包括特種氣體輸送柜柜體（7），氣體輸送柜柜體（7）內(nèi)部由多孔均流隔板（4）分隔為左右設(shè)置的溫度調(diào)節(jié)腔（5）和管路閥盤腔（6），溫度調(diào)節(jié)腔（5）側(cè)頂部通過送風管（3）外接工業(yè)熱風機（1）出風口，多孔均流隔板（4）上均布有均流孔。

2.如權(quán)利要求1所述的一種溫度可調(diào)節(jié)的特種氣體輸送柜，其特征在于，所述的工業(yè)熱風機（1）進風口設(shè)g4過濾棉（2）。

3.如權(quán)利要求1所述的一種溫度可調(diào)節(jié)的特種氣體輸送柜，其特征在于，所述的多孔均流隔板（4）上的均流孔分布范圍覆蓋管路閥盤腔（6）內(nèi)部的氣瓶、閥件和管路。

4.如權(quán)利要求1所述的一種溫度可調(diào)節(jié)的特種氣體輸送柜，其特征在于，所述的溫度調(diào)節(jié)腔（5）除多孔均流隔板（4）以外的外側(cè)面均覆蓋有保溫層（8）。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)是一種溫度可調(diào)節(jié)的特種氣體輸送柜，其結(jié)構(gòu)包括特種氣體輸送柜柜體，氣體輸送柜柜體內(nèi)部由多孔均流隔板分隔為左右設(shè)置的溫度調(diào)節(jié)腔和管路閥盤腔，溫度調(diào)節(jié)腔側(cè)頂部通過送風管外接工業(yè)熱風機出風口，多孔均流隔板上均布有均流孔。本技術(shù)的優(yōu)點：結(jié)構(gòu)設(shè)計合理，可通過工業(yè)熱風機將空氣加熱至40?45℃后，送入輸送柜內(nèi)分隔出的溫度調(diào)節(jié)腔內(nèi)，再通過分隔板上的均流孔送入氣瓶、閥件、管路所在的管路閥盤腔內(nèi)，將腔內(nèi)環(huán)境溫度維持在35?40℃，可有效實現(xiàn)加熱保溫，可降低熱損耗，提高管路閥盤腔內(nèi)整體加熱效果，進而改善閥件、管路的使用性能和可靠性。

技術(shù)研發(fā)人員：陳志佳,華海洲,晏青松,朱鵬程,楊敏,劉凱
受保護的技術(shù)使用者：中電智維（上海）科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240726
技術(shù)公布日：2025/5/8