1.一種半導體結(jié)構(gòu),其特征在于,包括:
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導體結(jié)構(gòu),其特征在于:
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導體結(jié)構(gòu),其特征在于:
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導體結(jié)構(gòu),其特征在于,還包括:
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導體結(jié)構(gòu),其特征在于,
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導體結(jié)構(gòu),其特征在于:
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導體結(jié)構(gòu),其特征在于:
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導體結(jié)構(gòu),其特征在于,所述發(fā)光單元(301)包括依次層疊設(shè)置的第一半導體層(33)、發(fā)光層(34)和第二半導體層(35),所述第一半導體層(33)位于所述緩沖層(10)遠離所述襯底(20)一側(cè)的表面。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的半導體結(jié)構(gòu),其特征在于,所述發(fā)光單元(301)還包括:金屬反射層(90),所述金屬反射層(90)位于所述第二半導體層(35)遠離所述發(fā)光層(34)的一側(cè)。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的半導體結(jié)構(gòu),其特征在于,還包括:
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的半導體結(jié)構(gòu),其特征在于,
12.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導體結(jié)構(gòu),其特征在于,還包括:
13.一種半導體結(jié)構(gòu)的制備方法,其特征在于,包括:
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的半導體結(jié)構(gòu)的制備方法,其特征在于,所述對所述緩沖層(10)的第二區(qū)域(12)選擇性刻蝕以制備光阻結(jié)構(gòu)(121),包括:
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的半導體結(jié)構(gòu)的制備方法,其特征在于,
16.根據(jù)權(quán)利要求13所述的半導體結(jié)構(gòu)的制備方法,其特征在于,
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的半導體結(jié)構(gòu)的制備方法,其特征在于,在所述第二半導體層(35)遠離所述發(fā)光層(34)的一側(cè)形成金屬反射層(90)之后,還包括:
18.根據(jù)權(quán)利要求14所述的半導體結(jié)構(gòu)的制備方法,其特征在于,對所述緩沖層(10)的第二區(qū)域(12)進行選擇性刻蝕,形成光阻結(jié)構(gòu)之后,還包括:
19.根據(jù)權(quán)利要求13所述的半導體結(jié)構(gòu)的制備方法,其特征在于,在對所述緩沖層(10)的第二區(qū)域(12)選擇性刻蝕以制備光阻結(jié)構(gòu)的同時,對所述緩沖層(10)的第一區(qū)域(11)選擇性刻蝕以制備出光結(jié)構(gòu),所述出光結(jié)構(gòu)用于提高所述發(fā)光單元(301)的出光效率。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的半導體結(jié)構(gòu)的制備方法,其特征在于,所述對所述緩沖層(10)的第一區(qū)域(11)選擇性刻蝕以制備出光結(jié)構(gòu)(111),包括: