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一種半導體結(jié)構(gòu)及其制備方法與流程

文檔序號:41869501發(fā)布日期:2025-05-09 18:37閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種半導體結(jié)構(gòu),其特征在于,包括:

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導體結(jié)構(gòu),其特征在于:

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導體結(jié)構(gòu),其特征在于:

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導體結(jié)構(gòu),其特征在于,還包括:

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導體結(jié)構(gòu),其特征在于,

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導體結(jié)構(gòu),其特征在于:

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導體結(jié)構(gòu),其特征在于:

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導體結(jié)構(gòu),其特征在于,所述發(fā)光單元(301)包括依次層疊設(shè)置的第一半導體層(33)、發(fā)光層(34)和第二半導體層(35),所述第一半導體層(33)位于所述緩沖層(10)遠離所述襯底(20)一側(cè)的表面。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的半導體結(jié)構(gòu),其特征在于,所述發(fā)光單元(301)還包括:金屬反射層(90),所述金屬反射層(90)位于所述第二半導體層(35)遠離所述發(fā)光層(34)的一側(cè)。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的半導體結(jié)構(gòu),其特征在于,還包括:

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的半導體結(jié)構(gòu),其特征在于,

12.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導體結(jié)構(gòu),其特征在于,還包括:

13.一種半導體結(jié)構(gòu)的制備方法,其特征在于,包括:

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的半導體結(jié)構(gòu)的制備方法,其特征在于,所述對所述緩沖層(10)的第二區(qū)域(12)選擇性刻蝕以制備光阻結(jié)構(gòu)(121),包括:

15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的半導體結(jié)構(gòu)的制備方法,其特征在于,

16.根據(jù)權(quán)利要求13所述的半導體結(jié)構(gòu)的制備方法,其特征在于,

17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的半導體結(jié)構(gòu)的制備方法,其特征在于,在所述第二半導體層(35)遠離所述發(fā)光層(34)的一側(cè)形成金屬反射層(90)之后,還包括:

18.根據(jù)權(quán)利要求14所述的半導體結(jié)構(gòu)的制備方法,其特征在于,對所述緩沖層(10)的第二區(qū)域(12)進行選擇性刻蝕,形成光阻結(jié)構(gòu)之后,還包括:

19.根據(jù)權(quán)利要求13所述的半導體結(jié)構(gòu)的制備方法,其特征在于,在對所述緩沖層(10)的第二區(qū)域(12)選擇性刻蝕以制備光阻結(jié)構(gòu)的同時,對所述緩沖層(10)的第一區(qū)域(11)選擇性刻蝕以制備出光結(jié)構(gòu),所述出光結(jié)構(gòu)用于提高所述發(fā)光單元(301)的出光效率。

20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的半導體結(jié)構(gòu)的制備方法,其特征在于,所述對所述緩沖層(10)的第一區(qū)域(11)選擇性刻蝕以制備出光結(jié)構(gòu)(111),包括:


技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種半導體結(jié)構(gòu)及其制備方法,半導體結(jié)構(gòu)包括:襯底,位于所述襯底上的緩沖層以及位于所述緩沖層遠離所述襯底一側(cè)的發(fā)光結(jié)構(gòu);所述緩沖層包括第一區(qū)域和環(huán)繞所述第一區(qū)域的第二區(qū)域;光阻結(jié)構(gòu),所述光阻結(jié)構(gòu)通過對所述緩沖層的第二區(qū)域選擇性刻蝕形成,所述光阻結(jié)構(gòu)用于抑制發(fā)光結(jié)構(gòu)發(fā)出的光側(cè)向傳播;所述發(fā)光結(jié)構(gòu)包括發(fā)光單元,所述發(fā)光單元與所述第一區(qū)域?qū)O(shè)置。本發(fā)明的光阻結(jié)構(gòu)在垂直緩沖層表面的方向上具有較高的反射率,可以抑制發(fā)光結(jié)構(gòu)發(fā)出的光透過第二區(qū)域側(cè)向傳播,減小光損失,避免信號串擾,發(fā)光單元與第一區(qū)域?qū)O(shè)置,使得發(fā)光結(jié)構(gòu)發(fā)出的光僅從緩沖層的第一區(qū)域的出光面發(fā)出,可以提高出光效率。

技術(shù)研發(fā)人員:張麗旸,程凱
受保護的技術(shù)使用者:蘇州晶湛半導體有限公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2025/5/8
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