1.一種倒裝結(jié)構(gòu)紅光micro-led的光學(xué)優(yōu)化方法,其特征在于,包括如下步驟:在所述倒裝結(jié)構(gòu)紅光micro-led的頂部設(shè)置頂部分布式布拉格反射鏡,底部設(shè)置底部金屬銀反射鏡,側(cè)壁設(shè)置側(cè)壁金屬銀反射鏡,其中頂部分布式布拉格反射鏡與底部金屬銀反射鏡組成諧振腔結(jié)構(gòu)增強(qiáng)micro-led垂直方向上的出光。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的倒裝結(jié)構(gòu)紅光micro-led的光學(xué)優(yōu)化方法,其特征在于,所述頂部分布式布拉格反射器由兩種折射率不同的介質(zhì)材料交替疊加而成,其中低折射率材料為aln,高折射率材料為gan。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的倒裝結(jié)構(gòu)紅光micro-led的光學(xué)優(yōu)化方法,其特征在于,所述介質(zhì)材料堆疊形成的介質(zhì)層層厚滿足如下光學(xué)關(guān)系:
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的倒裝結(jié)構(gòu)紅光micro-led的光學(xué)優(yōu)化方法,其特征在于,所述分布式布拉格反射器的反射率由兩種折射率不同的介質(zhì)材料交替疊加的疊加周期數(shù)決定,疊加周期數(shù)與分布式布拉格反射器的反射率之間存在如下關(guān)系:
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的倒裝結(jié)構(gòu)紅光micro-led的光學(xué)優(yōu)化方法,其特征在于,所述底部金屬銀反射鏡和側(cè)壁金屬銀反射鏡的反射率符合菲涅爾方程;對(duì)于從介質(zhì)1入射到介質(zhì)2的光線,垂直偏振和水平偏振的反射系數(shù)滿足以下關(guān)系式:
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的倒裝結(jié)構(gòu)紅光micro-led的光學(xué)優(yōu)化方法,其特征在于,所述底部金屬銀反射鏡和側(cè)壁金屬銀反射鏡的厚度設(shè)計(jì)考慮micro-led激發(fā)光線在micro-led中p-gan層、金屬銀薄膜層和空氣介質(zhì)中的傳輸,反射率與銀金屬薄膜厚度之間符合以下關(guān)系:
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的倒裝結(jié)構(gòu)紅光micro-led的光學(xué)優(yōu)化方法,其特征在于,頂部分布式布拉格反射鏡與底部金屬銀反射鏡組成諧振腔結(jié)構(gòu)中,分布式布拉格反射鏡的反射率在micro-led激發(fā)光線波段達(dá)到80%以上,底部金屬銀反射鏡的反射率在micro-led激發(fā)光線波段達(dá)到90%以上。
8.基于權(quán)利要求1-7任一所述光學(xué)優(yōu)化方法的一種倒裝結(jié)構(gòu)紅光micro-led,其特征在于,包括頂部分布式布拉格反射鏡、底部金屬銀反射鏡、側(cè)壁金屬銀反射鏡,其中頂部分布式布拉格反射鏡與底部金屬銀反射鏡組成諧振腔結(jié)構(gòu)增強(qiáng)micro-led垂直方向上的出光。