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用于量子反?;魻栃?yīng)薄膜的有效厚度的測定方法與流程

文檔序號:41872402發(fā)布日期:2025-05-09 18:44閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種用于量子反?;魻栃?yīng)薄膜的有效厚度的測定方法,其特征在于,包括:

2.如權(quán)利要求1所述的測定方法,其特征在于,所述將所述量子反?;魻栃?yīng)薄膜制備為量子輸運(yùn)器件的步驟,包括:

3.如權(quán)利要求2所述的測定方法,其特征在于,所述將在襯底的上表面生長的所述量子反?;魻栃?yīng)薄膜刻蝕為霍爾器件的步驟中,利用氬離子刻蝕技術(shù)或者反應(yīng)離子束刻蝕技術(shù)進(jìn)行刻蝕。

4.如權(quán)利要求2所述的測定方法,其特征在于,所述在所述霍爾器件上生長介質(zhì)層的步驟中,利用原子層沉積鍍膜技術(shù)或者磁控濺射鍍膜技術(shù)進(jìn)行生長。

5.如權(quán)利要求2所述的測定方法,其特征在于,所述在所述介質(zhì)層上生長電極,形成頂柵的步驟中;以及所述在所述襯底的下表面生長電極,形成背柵的步驟中,利用電子束蒸發(fā)鍍膜技術(shù)、熱蒸發(fā)鍍膜技術(shù)或者磁控濺射鍍膜技術(shù)進(jìn)行生長。

6.如權(quán)利要求2所述的測定方法,其特征在于,所述對所述量子輸運(yùn)器件施加電壓,以使所述量子輸運(yùn)器件呈現(xiàn)出量子反?;魻栃?yīng)的步驟,包括:

7.如權(quán)利要求6所述的測定方法,其特征在于,所述外加電場的方向?yàn)榕c所述襯底表面垂直。

8.如權(quán)利要求6所述的測定方法,其特征在于,所述對所述量子輸運(yùn)器件進(jìn)行電學(xué)輸運(yùn)性質(zhì)測量,并提取指標(biāo)的步驟,包括:

9.如權(quán)利要求8所述的測定方法,其特征在于,按照下式計算所述縱向電阻率、霍爾電阻率、縱向電導(dǎo)率和霍爾電導(dǎo)率:

10.如權(quán)利要求8所述的測定方法,其特征在于,所述根據(jù)所述指標(biāo)確定所述量子反?;魻栃?yīng)薄膜的有效厚度的步驟,包括:


技術(shù)總結(jié)
本申請?zhí)峁┮环N用于量子反?;魻栃?yīng)薄膜的有效厚度的測定方法,涉及量子反?;魻栃?yīng)薄膜技術(shù)領(lǐng)域。有效厚度的測定方法包括:將所述量子反?;魻栃?yīng)薄膜制備為量子輸運(yùn)器件;對所述量子輸運(yùn)器件施加電壓,以使所述量子輸運(yùn)器件呈現(xiàn)出量子反?;魻栃?yīng);對所述量子輸運(yùn)器件進(jìn)行電學(xué)輸運(yùn)性質(zhì)測量,并提取指標(biāo);根據(jù)所述指標(biāo)確定所述量子反?;魻栃?yīng)薄膜的有效厚度。本申請?zhí)峁┑挠行Ш穸鹊臏y定方法,可以有效解決現(xiàn)有技術(shù)在測定量子反?;魻栃?yīng)薄膜有效厚度時存在的步驟復(fù)雜、效率低下、細(xì)節(jié)敏感和干擾因素較多、精度不足等問題。

技術(shù)研發(fā)人員:高宗偉,馮洋,欒建立,李遠(yuǎn)昭,李一飛
受保護(hù)的技術(shù)使用者:北京量子信息科學(xué)研究院
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2025/5/8
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