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一種改善集成電路框架材料用銅帶冷軋表面質量的方法與流程

文檔序號:41852239發(fā)布日期:2025-05-09 18:11閱讀:1來源:國知局

本發(fā)明涉及銅帶軋制,具體為一種改善集成電路框架材料用銅帶冷軋表面質量的方法。


背景技術:

1、c19400銅合金在工業(yè)、航天、航空、電子、電力等領域得到廣泛應用,隨著銅合金加工產業(yè)發(fā)展迅速,集成電路框架材料用c19400銅合金帶材表面必須具備光亮、清潔、平整、無污染、耐腐蝕的表面質量,以滿足后續(xù)電鍍、沖壓等二次加工對銅帶表面的工藝要求。銅合金板帶材表面質量控制涉及整個生產工藝流程中的各個生產環(huán)節(jié),其中成品冷軋過程中的表面質量控制是提高帶材表面質量的關鍵工序。

2、成品冷軋生產采用六輥可逆冷軋機,潤滑介質為軋制油,冷軋過程采用常規(guī)方法控制,常規(guī)的冷軋方法在預成品退火前不切邊,邊部毛刺較多;預成品退火常采用罩式退火爐,出爐后表面容易附著碳黑等;且擠干輥只有1-2道,除油效果稍差;傳統(tǒng)冷軋軋制油只有一道過濾,軋制油過濾后的顆粒度常在nas?8級以上。這種常規(guī)的冷軋方法經常會出現裸眼可見的表面凹坑、凸點缺陷,嚴重影響后續(xù)電鍍加工的表面質量。


技術實現思路

1、本發(fā)明為了解決c19400銅合金采用常規(guī)冷軋方法容易出現表面缺陷的問題,提供了一種改善集成電路框架材料用銅帶冷軋表面質量的方法,通過采用技術措施,使得c19400銅合金經成品冷軋后表面無裸眼可見的凹坑、凸點缺陷,達到銅帶后續(xù)加工過程的表面質量要求。

2、本發(fā)明是采用如下的技術方案實現的:一種改善集成電路框架材料用銅帶冷軋表面質量的方法,采用的步驟如下:

3、(1)預成品銅帶卷材退火前進行兩邊部各3-5mm的切邊,確保邊部質量齊整、光潔,無肉眼可見毛刺,無肉眼可見豁口。

4、(2)預成品銅帶卷材退火生產采用氣墊式退火爐,氣墊式退火爐包括退火和清洗步驟。清洗步驟:開卷→脫脂(脫脂刷)→一次水洗→二次水洗→酸洗→三次水洗→拋光→四次水洗→鈍化→烘干→收卷。其中脫脂刷選擇尼龍刷,脫脂刷安裝于用于盛放脫脂液的清洗箱中。拋光采用預拋光+精拋光,預拋光刷采用2000-2500目研磨刷,精拋光刷采用2500-3000目研磨刷,預拋光刷與精拋光刷按照刷洗的順序依次安裝于機列上用于拋光的刷箱中。鈍化液濃度:0.10~0.12%。?清洗后的銅帶卷材表面質量:裸眼下銅帶表面清潔、無碳黑、無銅粉等異物。

5、(3)成品冷軋生產采用六輥可逆冷軋機,入口厚度0.15mm-0.5mm,來料寬度350mm-420mm。

6、(4)六輥精軋生產過程中,左、右出口側均有3對擠干輥除油,擠干輥更換周期設定為連續(xù)生產下的6-8個月。

7、(5)六輥精軋生產前將來料料卷最外圈進行切除。

8、(6)六輥精軋軋制油采用雙層過濾,第一層過濾采用板式過濾,第二層過濾采用布袋式過濾,軋制油顆粒度控制在nas7?-?nas8級。

9、(7)六輥精軋生產過程中軋制油潤滑、冷卻,并采用出、入口雙側噴射,噴射流量控制在300~360l/min。

10、(8)軋制油添加采用少量多次的方式,每周添加一次軋制油,添加量控制在300kg-450kg。

11、(9)支撐輥粗糙度ra?0.7μm~0.9μm,中間輥粗糙度ra?0.3μm~0.6μm,工作輥粗糙度ra0.08μm-0.12μm。

12、(10)每道次冷軋加工率控制在20%~25%,軋后出口厚度0.1mm~0.3mm。

13、本發(fā)明方法從冷卻潤滑介質的潔凈,及冷軋過程控制,提升c19400銅合金帶在軋制過程中的表面質量,以滿足后續(xù)電鍍加工的質量要求。成品效果驗證:裸眼觀察銅帶表面,表面無裸眼可見的凹坑、凸點缺陷,滿足后續(xù)電鍍加工的表面質量要求。

14、本發(fā)明的目的在于在成品冷軋過程中通過采取以上技術措施,提升軋制油在成品冷軋機軋制c19400銅合金帶材過程中的潔凈度,在固定添加周期、過濾要求及使用過程控制等方面采取措施,確保軋后帶材表面無裸眼可見的凹坑、凸點表面缺陷,以滿足后道工序加工的質量要求。



技術特征:

1.一種改善集成電路框架材料用銅帶冷軋表面質量的方法,其特征在于:包括以下步驟:

2.根據權利要求1所述的一種改善集成電路框架材料用銅帶冷軋表面質量的方法,其特征在于:清洗步驟中脫脂過程采用的脫脂刷選擇尼龍刷,脫脂刷安裝于用于盛放脫脂液的清洗箱中;拋光采用預拋光+精拋光,預拋光刷采用2000-2500目研磨刷,精拋光刷采用2500-3000目研磨刷,預拋光刷與精拋光刷按照刷洗的順序依次安裝于機列上用于拋光的刷箱中;鈍化液濃度為0.10~0.12%。

3.根據權利要求1或2所述的一種改善集成電路框架材料用銅帶冷軋表面質量的方法,其特征在于:六輥可逆冷軋機入口厚度0.15mm-0.5mm,來料寬度350mm-420mm,軋后出口厚度0.1mm~0.3mm。

4.根據權利要求1或2所述的一種改善集成電路框架材料用銅帶冷軋表面質量的方法,其特征在于:六輥可逆冷軋機左、右出口側均有3對擠干輥除油,擠干輥更換周期設定為在連續(xù)生產下的6-8個月。

5.根據權利要求1或2所述的一種改善集成電路框架材料用銅帶冷軋表面質量的方法,其特征在于:六輥精軋生產前將來料料卷最外圈進行切除。

6.根據權利要求1或2所述的一種改善集成電路框架材料用銅帶冷軋表面質量的方法,其特征在于:軋制油添加采用少量多次的方式,每周添加一次軋制油,添加量控制在300kg-450kg。

7.根據權利要求1或2所述的一種改善集成電路框架材料用銅帶冷軋表面質量的方法,其特征在于:制成銅帶卷材的銅合金牌號為c19400。


技術總結
本發(fā)明涉及銅帶軋制技術領域,具體為一種改善集成電路框架材料用銅帶冷軋表面質量的方法。本方法采用氣墊式退火爐對銅帶卷材退火、清洗,清洗過程為:開卷→脫脂→一次水洗→二次水洗→酸洗→三次水洗→拋光→四次水洗→鈍化→烘干→收卷。脫脂刷選擇尼龍刷,拋光采用預拋光+精拋光,預拋光刷采用2000?2500目研磨刷,精拋光刷采用2500?3000目研磨刷。本方法還從成品軋制中冷卻潤滑介質的潔凈,及冷軋過程控制,提升C19400銅合金帶在軋制過程中的表面質量。通過采用技術措施,使得C19400銅合金經成品軋制后表面無裸眼可見的凹坑、凸點缺陷,達到銅帶后續(xù)加工過程的表面質量要求。

技術研發(fā)人員:王少華,馮澤強,段慶陽,馮國良,高志偉,鄭小英,李素云,景潔,蘇鵬,藺溫杰,張斌,趙耿,常雅欣
受保護的技術使用者:太原晉西春雷銅業(yè)有限公司
技術研發(fā)日:
技術公布日:2025/5/8
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