本技術(shù)涉及物料轉(zhuǎn)移設(shè)備，具體涉及一種晶棒輸送輥道線應(yīng)急用疏堵裝置。

背景技術(shù)：

1、目前，單晶圓硅棒由開方工序得到的方棒需要通過(guò)自動(dòng)化輥道線輸送至下一工序，自動(dòng)化輥道線包含若干節(jié)通過(guò)橡膠鏈或者坦克鏈傳動(dòng)連接的輥道，每節(jié)輥道大約2.2m長(zhǎng)。當(dāng)其中一節(jié)輥道出現(xiàn)軸承損壞或者鏈條斷裂等故障時(shí)，需要停止當(dāng)前段的輥道組并及時(shí)更換軸承/鏈條。在更換過(guò)程中，為保持生產(chǎn)效率上下游輥道組不會(huì)停運(yùn)，因此還需要員工直接將上游輥道組送來(lái)的晶棒以手持的方式抬運(yùn)至下游輥道組以防止出現(xiàn)晶棒堵料情況。但是，由于空間狹隘，軸承/鏈條的更換過(guò)程需要花費(fèi)2個(gè)小時(shí)，意味著人工抬運(yùn)轉(zhuǎn)移晶棒也要持續(xù)這么長(zhǎng)的時(shí)間，勞動(dòng)強(qiáng)度非常大，而且在員工疲勞后晶棒容易從手中滑落，存在極大的安全隱患。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供一種晶棒輸送輥道線應(yīng)急用疏堵裝置，以解決現(xiàn)有人工抬運(yùn)轉(zhuǎn)移晶棒需要花費(fèi)2個(gè)小時(shí)，勞動(dòng)強(qiáng)度非常大，而且在員工疲勞后晶棒容易從手中滑落，存在極大安全隱患的問(wèn)題。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了以下技術(shù)方案：

3、一種晶棒輸送輥道線應(yīng)急用疏堵裝置，包括：

4、機(jī)架，活動(dòng)設(shè)于待維修的輥道組上方；

5、第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)，連接于所述機(jī)架，其可沿晶棒輸送輥道線的輸送方向往復(fù)移動(dòng)；

6、第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)，連接于所述第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其可沿豎直方向往復(fù)移動(dòng)；及

7、抓取機(jī)構(gòu)，連接于所述第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)，用于抓取晶棒以實(shí)現(xiàn)晶棒在上下游輥道組之間的轉(zhuǎn)移。

8、在本申請(qǐng)公開的一個(gè)實(shí)施例中，所述第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括第一載板、第一電機(jī)、第一滾珠絲杠及第一滑座；

9、所述第一載板水平連接于所述機(jī)架上端；

10、所述第一電機(jī)固定安裝于所述第一載板一端；

11、所述第一滾珠絲杠一端與所述第一電機(jī)輸出端相傳動(dòng)連接、另一端與所述第一載板另一端轉(zhuǎn)動(dòng)連接；

12、所述第一滑座與所述第一滾珠絲杠相傳動(dòng)連接且與所述第一載板滑動(dòng)配合。

13、在本申請(qǐng)公開的一個(gè)實(shí)施例中，所述第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括第二載板、第二電機(jī)、第二滾珠絲杠及第二滑座；

14、所述第二載板豎直連接于所述第一滑座；

15、所述第二電機(jī)固定安裝于所述第二載板上端；

16、所述第二滾珠絲杠一端與所述第二電機(jī)輸出端相傳動(dòng)連接、另一端與所述第二載板下端轉(zhuǎn)動(dòng)連接；

17、所述第二滑座與所述第二滾珠絲杠相傳動(dòng)連接且與所述第二載板滑動(dòng)配合。

18、在本申請(qǐng)公開的一個(gè)實(shí)施例中，所述第一載板上設(shè)有一對(duì)第一導(dǎo)桿，所述第一導(dǎo)桿平行位于所述第一滾珠絲杠兩側(cè)且滑動(dòng)貫穿所述第一滑座；

19、所述第二載板上設(shè)有一對(duì)第二導(dǎo)桿，所述第二導(dǎo)桿平行位于所述第二滾珠絲杠兩側(cè)且滑動(dòng)貫穿所述第二滑座。

20、在本申請(qǐng)公開的一個(gè)實(shí)施例中，所述抓取機(jī)構(gòu)包括支座及連接于所述支座下方、用于吸附晶棒的吸盤；

21、所述支座與所述第二滑座固定連接；

22、所述吸盤外接有負(fù)壓發(fā)生器、以為所述吸盤吸附晶棒提供吸力。

23、在本申請(qǐng)公開的一個(gè)實(shí)施例中，所述吸盤通過(guò)第三導(dǎo)桿連接于所述支座下方；

24、所述第三導(dǎo)桿上套裝有彈簧；

25、所述彈簧兩端分別與所述支座下端面、吸盤背面抵觸連接。

26、在本申請(qǐng)公開的一個(gè)實(shí)施例中，所述吸盤對(duì)稱于所述第二滾珠絲杠設(shè)有一對(duì)。

27、在本申請(qǐng)公開的一個(gè)實(shí)施例中，還包括放置在地面上且位于所述機(jī)架一側(cè)的控制柜；

28、所述控制柜分別與所述第一電機(jī)、第二電機(jī)及負(fù)壓發(fā)生器電性連接。

29、在本申請(qǐng)公開的一個(gè)實(shí)施例中，所述機(jī)架下端設(shè)有腳輪。

30、在本申請(qǐng)公開的一個(gè)實(shí)施例中，所述機(jī)架為鋁型材框架。

31、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：

32、1、利用機(jī)架在有故障的晶棒輸送輥道組上架起一座橋梁，并通過(guò)第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)、第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)及抓取機(jī)構(gòu)的配合作用，替代人工在不影響故障輥道組維修的前提下將上游持續(xù)送來(lái)的晶棒轉(zhuǎn)移至下游，一定程度上解決了輥道線的堵料情況，保持了生產(chǎn)效率，同時(shí)提高了晶棒轉(zhuǎn)移過(guò)程中的安全性。

33、2、抓取機(jī)構(gòu)下移至吸盤與晶棒接觸時(shí)，彈簧可以起到緩沖作用，減少吸盤與晶棒之間的剛性碰撞，從而有效避免晶棒受損，保證晶棒品質(zhì)。

34、3、抓取機(jī)構(gòu)通過(guò)一對(duì)吸盤同時(shí)吸附一根晶棒，吸力更大，能夠防止轉(zhuǎn)移過(guò)程中晶棒的脫落，進(jìn)一步提高了晶棒轉(zhuǎn)移過(guò)程中的安全性。

35、4、鋁型材框架有利于減輕本裝置的重量，員工推動(dòng)時(shí)更省力。

技術(shù)特征：

1.一種晶棒輸送輥道線應(yīng)急用疏堵裝置，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶棒輸送輥道線應(yīng)急用疏堵裝置，其特征在于：

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶棒輸送輥道線應(yīng)急用疏堵裝置，其特征在于：

4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的晶棒輸送輥道線應(yīng)急用疏堵裝置，其特征在于：

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶棒輸送輥道線應(yīng)急用疏堵裝置，其特征在于：

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶棒輸送輥道線應(yīng)急用疏堵裝置，其特征在于，所述吸盤對(duì)稱于所述第二滾珠絲杠設(shè)有一對(duì)。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶棒輸送輥道線應(yīng)急用疏堵裝置，其特征在于：

8.根據(jù)權(quán)利要求1～3、5～7中任意一項(xiàng)所述的晶棒輸送輥道線應(yīng)急用疏堵裝置，其特征在于，所述機(jī)架下端設(shè)有腳輪。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的晶棒輸送輥道線應(yīng)急用疏堵裝置，其特征在于，所述機(jī)架為鋁型材框架。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及物料轉(zhuǎn)移設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，提供一種晶棒輸送輥道線應(yīng)急用疏堵裝置，包括：機(jī)架，活動(dòng)設(shè)于待維修的輥道組上方；第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)，連接于機(jī)架，其可沿晶棒輸送輥道線的輸送方向往復(fù)移動(dòng)；第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)，連接于第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其可沿豎直方向往復(fù)移動(dòng)；及抓取機(jī)構(gòu)，連接于第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)，用于抓取晶棒以實(shí)現(xiàn)晶棒在上下游輥道組之間的轉(zhuǎn)移。利用機(jī)架在有故障的晶棒輸送輥道組上架起一座橋梁，并通過(guò)第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)、第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)及抓取機(jī)構(gòu)的配合作用，替代人工在不影響故障輥道組維修的前提下將上游持續(xù)送來(lái)的晶棒轉(zhuǎn)移至下游，一定程度上解決了輥道線的堵料情況，保持了生產(chǎn)效率，同時(shí)提高了晶棒轉(zhuǎn)移過(guò)程中的安全性。

技術(shù)研發(fā)人員：楊浩,樊聽聽,陳磊,張偉龍,程濤,吳建忠,許智威,羅原
受保護(hù)的技術(shù)使用者：四川永祥光伏科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240418
技術(shù)公布日：2025/5/8